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기판, 상기 기판의 표면에 형성되며 복수의 전극지(finger)를 포함하는 교차지 전극(interdigitated electrode), 상기 복수의 전극지 중 인접한 두 개의 전극지 사이에 형성된 복수의 나노 섬(nano island), 및 상기 교차지 전극 및 상기 나노 섬 위에 증착된 파릴렌 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 10nm 내지 100nm의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 3에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 단백질 고정효율을 증가시킬 수 있는 화학기능기를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 4에 있어서, 상기 화학기능기는 아민기 또는 포르밀기인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인접한 두개의 전극지 사이의 간격은 5㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 섬은 Au 나노 섬인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 교차지 전극은 포토 리소그래피법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체
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기판 위에 교차지 전극을 형성하는 단계;상기 교차지 전극이 형성된 기판 위에 나노 섬 형성용 박막을 증착하는 단계;상기 나노 섬 형성용 박막이 증착된 기판을 열처리하여 나노 섬 형성용 박막으로부터 복수의 나노 섬을 형성하는 단계; 및 상기 복수의 나노 섬이 형성된 기판에 파릴렌 박막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 교차지 전극은 Au 박막인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 나노 섬 형성용 박막은 Au 박막인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 나노 섬 형성용 박막은 0
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청구항 9에 있어서, 상기 나노섬을 형성하는 단계에서 열처리는 500℃ 이상의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 10nm 내지 100nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 단백질 고정효율을 증가시킬 수 있는 화학기능기를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 16에 있어서, 상기 화학기능기는 아민기 또는 포르밀기인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 교차지 전극을 형성하는 방법은 포토 리소그래피법인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 18에 있어서, 상기 포토 리소그래피법은 포토레지스트(photo regist)를 기판 위에 증착하는 단계; 상기 증착된 포토레지스트를 베이킹(baking)하는 단계; 상기 베이킹된 포토레지스트 위에 패터닝된 포토마스크(photomask)를 도포하는 단계; 상기 포토마스크가 도포된 포토레지스트를 자외선에 노출하여 포토레지스트를 일부 제거하는 단계; 상기 포토레지스트가 일부 제거된 기판 위에 교차지 전극용 전극 재료를 증착하는 단계; 및 상기 교차지 전극용 전극 재료가 증착되면 포토마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 19에 있어서, 상기 방법은 상기 포토레지스트를 일부 제거하는 단계에 이어서 접착층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 20에 있어서, 상기 접착층은 Ti 층인 것을 특징으로 하는 교차지 전극 구조를 갖는 용량성 바이오 센서용 전극 구조체의 제조방법
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 따른 전극 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 용량성 바이오 센서
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