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구리층 캡핑 방법 및 그를 이용한 구리 배선 제조 방법
- 기술번호 : KST2015126960
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은 구리층 캡핑 방법 및 그를 이용한 구리 배선 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 구리층 캡핑 방법은, 구리층이 형성된 기판을 가열하는 단계; 코발트 전구체로 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐(cobalt cyclopentadienyl dicarbonyl)을 이용하고, 반응 기체로 수소를 이용하여 상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계; 및 상기 기판에 암모니아를 제공하면서 플라즈마를 생성하여, 상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계;를 포함할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) |
| CPC | H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020140022648 (2014.02.26) |
| 출원인 | 연세대학교 산학협력단, 인천대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1553357-0000 (2015.09.09) |
| 공개번호/일자 | 10-2015-0101216 (2015.09.03) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20150916) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2014.02.26) |
| 심사청구항수 | 5 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 2 | 인천대학교 산학협력단 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김형준 | 대한민국 | 서울 영등포구 |
| 2 | 윤재홍 | 대한민국 | 서울 성동구 |
| 3 | 김수현 | 대한민국 | 경기 의정부시 신곡로 **, |
| 4 | 이한보람 | 대한민국 | 서울특별시 강서구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 권혁수 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소) |
| 2 | 송윤호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 인천대학교 산학협력단 | 인천광역시 연수구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2014.02.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0190028-10 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.02.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0201095-17 |
| 3 | 보정요구서 Request for Amendment |
2014.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2014-0036169-53 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.03.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0225423-41 |
| 5 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2014.03.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2014-0040736-81 |
| 6 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0258118-93 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.10.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0091252-23 |
| 9 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.12.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 10 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2015.01.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2015-0003257-77 |
| 11 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0060422-60 |
| 12 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0160634-02 |
| 13 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2015.05.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0450413-41 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0518828-57 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.05.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0518827-12 |
| 16 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2015.07.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0457798-57 |
| 17 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.07.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-0671486-35 |
| 18 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.07.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0671485-90 |
| 19 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.09.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0600062-95 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.06.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5075573-17 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5212872-93 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 구리층이 형성된 기판을 가열하는 단계;코발트 전구체로 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐(cobalt cyclopentadienyl dicarbonyl)을 이용하고, 반응 기체로 수소를 이용하여 상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계; 및상기 기판에 암모니아를 제공하면서 플라즈마를 생성하여, 상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하며,상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계는: 상기 기판이 위치하는 챔버의 압력을 30 mTorr로 설정하고, 상기 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐이 담긴 캐니스터의 온도를 0℃로 유지하고, 상기 캐니스터에 불활성 기체를 30 sccm의 유량으로 공급하고, 상기 챔버에 상기 수소를 400 sccm의 유량으로 공급하여 화학 기상 증착법으로 25 분 동안 수행되고,상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계는:상기 기판의 온도를 180 내지 250℃로 유지하고, 상기 암모니아의 유량을 200 sccm으로 설정하고, 상기 플라즈마를 생성하기 위한 RF 전력을 300 W로 설정하여 2 분 동안 수행되는 구리층 캡핑 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 구리층이 형성된 기판을 가열하는 단계는, 상기 기판을 180 내지 250℃로 가열하는 단계를 포함하는 구리층 캡핑 방법 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서,상기 구리층이 형성된 기판을 가열하는 단계는, 상기 기판을 200℃로 가열하는 단계를 포함하는 구리층 캡핑 방법 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 삭제 |
| 6 |
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| 7 |
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| 8 |
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| 10 |
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| 11 |
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| 12 |
12 구리층이 형성된 기판을 200℃로 가열하는 단계;상기 기판이 위치하는 챔버의 압력을 30 mTorr로 설정하고, 코발트 전구체인 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐이 담긴 캐니스터의 온도를 0℃로 유지하고, 상기 캐니스터에 불활성 기체를 30 sccm의 유량으로 공급하고, 상기 챔버에 반응 기체로 수소를 400 sccm의 유량으로 공급하여, 상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계; 및상기 기판의 온도를 200℃로 유지하고, 상기 챔버에 플라즈마 소스 가스로 암모니아를 200 sccm의 유량으로 공급하고, 플라즈마를 생성하기 위한 RF 전력을 300 W로 설정하여, 상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계;를 포함하며,상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계는 상기 캐니스터에 불활성 기체를 30 sccm의 유량으로 공급하는 단계를 더 포함하며 25분 동안 수행되고,상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계는 2분 동안 수행되는 구리층 캡핑 방법 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 기판 위에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층을 기 결정된 패턴으로 식각하는 단계;식각된 부분에 구리층을 형성하는 단계;상기 구리층을 코발트로 캡핑하는 단계를 포함하되, 상기 구리층을 상기 코발트로 캡핑하는 단계는: 상기 구리층이 형성된 기판을 가열하는 단계; 코발트 전구체로 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐을 이용하고, 반응 기체로 수소를 이용하여 상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계; 및 상기 기판에 암모니아를 제공하면서 플라즈마를 생성하여, 상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계;를 포함하며,상기 구리층에 코발트층을 증착하는 단계는: 상기 기판이 위치하는 챔버의 압력을 30 mTorr로 설정하고, 상기 코발트 사이클로펜타디에닐 디카보닐이 담긴 캐니스터의 온도를 0℃로 유지하고, 상기 캐니스터에 불활성 기체를 30 sccm의 유량으로 공급하고, 상기 챔버에 상기 수소를 400 sccm의 유량으로 공급하여 화학 기상 증착법으로 25 분 동안 수행되고,상기 기판을 플라즈마 처리하는 단계는: 상기 기판의 온도를 180 내지 250℃로 유지하고, 상기 암모니아의 유량을 200 sccm으로 설정하고, 상기 플라즈마를 생성하기 위한 RF 전력을 300 W로 설정하여 2분 동안 수행되는 구리 배선 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 미래창조과학부 | 한국반도체연구조합 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 | 초미세 고신뢰성 배선기술 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1553357-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20140226 출원 번호 : 1020140022648 공고 연월일 : 20150916 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150901 청구범위의 항수 : 5 유별 : H01L 21/28 발명의 명칭 : 구리층 캡핑 방법 및 그를 이용한 구리 배선 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
| 1 |
(권리자) 인천대학교 산학협력단 인천광역시 연수구... |
| 2 |
(의무자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
| 2 |
(권리자) 인천대학교 산학협력단 인천광역시 연수구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 120,000 원 | 2015년 09월 10일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 79,500 원 | 2018년 11월 05일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 75,000 원 | 2019년 08월 26일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 75,000 원 | 2020년 08월 25일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2014.02.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0190028-10 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.02.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0201095-17 |
| 3 | 보정요구서 | 2014.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2014-0036169-53 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.03.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0225423-41 |
| 5 | 서류반려이유통지서 | 2014.03.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2014-0040736-81 |
| 6 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0258118-93 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.10.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0091252-23 |
| 9 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.12.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 10 | 선행기술조사보고서 | 2015.01.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2015-0003257-77 |
| 11 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0060422-60 |
| 12 | 의견제출통지서 | 2015.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0160634-02 |
| 13 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2015.05.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0450413-41 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0518828-57 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.05.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0518827-12 |
| 16 | 최후의견제출통지서 | 2015.07.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0457798-57 |
| 17 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.07.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-0671486-35 |
| 18 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.07.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0671485-90 |
| 19 | 등록결정서 | 2015.09.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0600062-95 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.06.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5075573-17 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5212872-93 |
| 기술정보가 없습니다 |
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| 과제정보가 없습니다 |
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중요키워드
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