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금속 황화물 합금 형성 방법 및 금속 황화물 합금을 포함하는 전자 소자

  • 기술번호 : KST2015127484
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 증착법(ALD)을 이용하여 기판상에 금속 산화물 합금을 형성하는 단계 및 상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계를 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/24 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020140109660 (2014.08.22)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1541463-0000 (2015.07.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150819) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.08.22)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 서울특별시 영등포구
2 송정규 대한민국 서울특별시 서대문구
3 박주상 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0797966-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0928008-51
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1230554-65
5 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2014.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.06 수리 (Accepted) 9-1-2015-0000379-52
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.07 수리 (Accepted) 9-1-2015-0000643-12
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2015-0006735-43
9 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2015-0006801-69
10 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2015-0006814-52
11 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2015-0006834-65
12 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060422-60
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0198977-23
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0319983-05
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0603150-83
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0603145-54
17 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0707747-35
18 등록결정서
Decision to grant		 2015.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0486727-06
19 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0743537-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원자층 증착법(ALD)을 이용하여 기판상에 금속 산화물 합금을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계;를 포함하고,상기 금속 산화물 합금을 형성하는 단계는,ALD에 의해 제1 금속 산화물을 형성하는 제1 단계; 및ALD에 의해 제2 금속 산화물을 형성하는 제2 단계;를 포함하되,상기 제1 단계와 상기 제2 단계를 한 단위로 하여 적어도 1회 이상 반복하며,상기 금속 황화물 합금의 금속 성분비는 상기 제1 단계의 ALD 사이클 횟수 및 상기 제2 단계의 ALD 사이클 횟수에 의해 조절되는 금속 황화물 합금 형성 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 금속 산화물은 몰리브덴 산화물(MoO3)을 포함하고,상기 제2 금속 산화물은 텅스텐 산화물(WO3)을 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
3 3
제1 항에 있어서,밴드 갭(band gap)을 조절할 수 있도록 상기 금속 황화물 합금의 금속 성분비를 조절하는 단계;를 더 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
4 4
삭제
5 5
원자층 증착법(ALD)을 이용하여 기판상에 금속 산화물 합금을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계;를 포함하고,상기 금속 산화물 합금을 형성하는 단계는,ALD에 의해 몰리브덴 산화물(MoO3)을 형성하는 제1 단계; 및ALD에 의해 텅스텐 산화물(WO3)을 형성하는 제2 단계;를 포함하되,상기 제1 단계와 상기 제2 단계를 한 단위로 하여 적어도 1회 이상 반복하며,상기 제1 단계는,ALD 반응 챔버 내로 몰리브덴 전구체로서 Mo(CO)6를 도입하는 단계; 및상기 ALD 반응 챔버 내로 산소 전구체를 주입하는 단계;를 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
6 6
원자층 증착법(ALD)을 이용하여 기판상에 금속 산화물 합금을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계;를 포함하고,상기 금속 산화물 합금을 형성하는 단계는,ALD에 의해 몰리브덴 산화물(MoO3)을 형성하는 제1 단계; 및ALD에 의해 텅스텐 산화물(WO3)을 형성하는 제2 단계;를 포함하되,상기 제1 단계와 상기 제2 단계를 한 단위로 하여 적어도 1회 이상 반복하며,상기 제2 단계는,ALD 반응 챔버 내로 텅스텐 전구체로서 WH2(iPrCp)2를 도입하는 단계; 및상기 ALD 반응 챔버 내로 산소 전구체를 주입하는 단계;를 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
7 7
제1 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금을 형성하는 단계는,화학식이 Mo(1-x)WxO3인 금속 산화물 합금을 형성하는 금속 황화물 합금 형성 방법
8 8
제1 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계는,상기 금속 산화물 합금이 형성된 기판을 황을 포함하는 가스와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
9 9
제8 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금이 형성된 기판을 황을 포함하는 가스와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계는 600℃ 내지 1000℃에서 30분 내지 60분 수행되는 금속 황화물 합금 형성 방법
10 10
제9 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금이 형성된 기판을 황을 포함하는 가스와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계에서,상기 황을 포함하는 가스는 10sccm 내지 100sccm, 상기 비활성 가스는 10sccm 내지 100sccm씩 공급되는 금속 황화물 합금 형성 방법
11 11
제8 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금이 형성된 기판을 황을 포함하는 가스와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계 이전에,수소와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계를 더 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
12 12
제11 항에 있어서,상기 수소와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계는 200℃ 내지 600℃에서 30분 내지 90분 수행되는 금속 황화물 합금 형성 방법
13 13
제12 항에 있어서,상기 수소와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계에서 상기 수소 가스 및 비활성 가스는 각각 10sccm 내지 100sccm 이 공급되는 금속 황화물 합금 형성 방법
14 14
제8 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금이 형성된 기판을 황을 포함하는 가스와 비활성 가스 분위기에서 열처리하는 단계 이후에,상기 기판을 비활성 가스 분위기에서 냉각시키는 단계를 더 포함하는 금속 황화물 합금 형성 방법
15 15
제14 항에 있어서,상기 기판을 냉각시키는 단계에서,황을 포함하는 가스 및 비활성 가스가 각각 10sccm 내지 100sccm으로 공급되는 금속 황화물 합금 형성 방법
16 16
제1 항에 있어서,상기 금속 산화물 합금을 금속 황화물 합금으로 변환하는 단계는,상기 금속 산화물 합금을 화학식이 Mo(1-x)WxS2인 금속 황화물 합금으로 변환하는 금속 황화물 합금 형성 방법
17 17
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18 18
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1 US20160056039 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2016056039 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 신기술융합형 성장동력사업 ALD기반 그래핀 FET 및 solid-state device 응용 연구
2 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업(핵심연구사업) 테라헤르츠 기반 초민감 다중 분자 검지 시스템
3 지식경제부 성균관대학교 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 초미세 반도체와 플렉서블 디스플레이 공정을 위한 무기물 박막증착용 고밀도 플라즈마 기술개발
4 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 소재부품기술개발(핵심소재원천1단계)사업 차세대 전자소자용 대면적 (8“이상) 칼코지나이드계 2차원 소재 성장 및 평가기술
5 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 백금 대체용 수소 발생 촉매를 위한 대면적/고전도성 전이 금속 디칼코게나이드 합성 연구
6 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 글로벌프런티어사업(다차원 스마트 IT 융합 시스템 연구) 상시 환경 모니터링을 위한 원자층 PN 광 다이오드 기반 무전원 분자 검출 시스템 개발