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ＭＥＭＳ 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ＥＣＧ측정센서 및 그 제작방법

  • 기술번호 : KST2015127617
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ECG 측정센서 및 그 제작방법에 관한 것으로, 패드 상에 고리형 전극과 원형 전극을 일체로 형성하여 ECG 측정센서를 제작함으로써 하나의 ECG 측정센서를 이용하여 심전도를 측정할 수 있으며, 심전도 측정성능을 향상시킬 수 있어 보다 정확한 심전도 측정이 가능하고, 체온 감지센서가 ECG 측정센서에 일체로 구비되어 환자 또는 피검자의 심전도를 측정함과 동시에 체온을 측정할 수 있으며, MEMS 기술에 의해 측정센서를 초소형으로 제작할 수 있는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서 및 그 제작방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명은, 심전도를 측정하기 위한 심전도(ECG) 측정장치에 있어서, 심전도를 측정하기 위한 심전도(ECG) 측정장치에 있어서, 심장의 전기적인 활동으로 인한 온몸으로 퍼지는 미세전류로 인하여 발생되는 신체 표면의 전위 차를 감지하기 위한 고리형 전극과 원형 전극; 상기 고리형 전극과 원형 전극을 통하여 감지된 전위 차에 따른 신호를 검출부로 제공하기 위한 접속 전극; 및 상기 고리형 전극과 원형 전극 및 각 접속 전극을 일체로 그 상부면에 갖는 접촉 패드; 를 포함하여 구성되되, MEMS 공정에 의해 제작되는 것을 특징으로 한다. 심전도(ECG), MEMS, 단일지점, 고리형 전극, 원형 전극, 체온 감지센서
Int. CL A61B 5/0408 (2006.01) H01L 29/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) A61B 5/0402 (2006.01)
CPC A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01) A61B 5/0408(2013.01)
출원번호/일자 1020080098226 (2008.10.07)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1010925-0000 (2011.01.19)
공개번호/일자 10-2010-0039026 (2010.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20110125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.07)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용준 대한민국 서울특별시 용산구
2 김용호 대한민국 서울특별시 광진구
3 김홍래 대한민국 경기도 고양시 일산서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 웨어롬 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0699889-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052763-37
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0312110-83
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0611734-96
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0611735-31
7 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0606258-93
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0008163-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
심전도를 측정하기 위한 심전도(ECG) 측정장치에 있어서, 심장의 전기적인 활동으로 인한 온몸으로 퍼지는 미세전류로 인하여 발생되는 신체 표면의 전위 차를 감지하기 위한 고리형 전극(11)과 원형 전극(31); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)을 통하여 감지된 전위 차에 따른 신호를 검출부로 제공하기 위한 각 접속 전극(13, 33); 및 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)을 일체로 그 상부면에 갖는 접촉 패드(50); 를 포함하여 구성되되, MEMS 공정에 의해 제작되는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
2 2
제1항에 있어서, 상기 고리형 전극(11)은 고리형상으로 형성되고, 상기 접속 전극(13)은 그 일측 단부가 상기 고리형 전극(11)에 연결되어 연장형성되되, 그 타측 단부가 절곡형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
3 3
제1항에 있어서, 상기 원형 전극(31)은 상기 고리형 전극(11)의 내측에 위치하되, 원형으로 형성되고, 상기 접속 전극(33)은 그 일측 단부가 상기 원형 전극(31)에 연결되어 연장형성되되, 그 타측 단부가 절곡형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
4 4
제1항에 있어서, 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33) 사이의 거리가 200㎛ 이내로 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
5 5
제1항에 있어서, 상기 고리형 전극(11)과 접속 전극(13)의 외측에 신체의 체온을 측정하기 위한 체온 감지센서(70)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
6 6
제5항에 있어서, 상기 체온 감지센서(70)는 방사상으로 다수번 절곡형성되는 체온감지 저항(71)과, 상기 체온감지 저항(71)의 양 단부에 연결되어 절곡형성되는 저항 연결부(73)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
7 7
제1항에 있어서, 상기 접촉 패드(50)는 원형 패드부재(51)와, 상기 원형 패드부재(51)에 연결되어 연장형성되는 바형 패드부재(53) 및 상기 바형 패드부재(53)의 단부에 연결되는 판형 패드부재(55)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
8 8
제1항에 있어서, 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)에 의해 측정된 심전도의 피크(peak)값의 시간 간격을 이용하여 손, 팔목 등 심장에서 멀리 떨어진 부위에서의 맥박을 측정하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서
9 9
고리형 전극(11)과, 원형 전극(31); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)에 연장형성되는 각 접속 전극(13, 33); 및 상기 고리형 전극(11), 원형 전극(31),상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)에 연장형성되는 각 접속 전극(13, 33)을 그 상부면에 일체로 갖는 접촉 패드(50); 를 포함하는 구성으로 이루어지는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서(1)의 제작방법에 있어서, 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer, 5) 상에 폴리이미드(Polyimide, 6)를 스핀 코팅하는 단계(S11); 상기 스핀 코팅된 폴리이미드(6)를 경화하는 단계(S12); 상기 경화된 폴리이미드(6) 상에 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 증착하는 단계(S13); 상기 증착된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패터닝(Patterning)하는 단계(S14); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8) 상에 알루미늄(Al)(9)을 증착하는 단계(S15); 상기 알루미늄(Al)(9)을 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)을 포함하는 형상으로 패터닝하는 단계(S16); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8) 하부의 폴리이미드(6)를 제외한 나머지 부분의 폴리이미드(6)를 에칭하는 단계(S17); 상기 패턴된 알루미늄(Al)(9)을 에칭하여 제거하는 단계(S18); 및 상기 폴리이미드(6)에서 실리콘 웨이퍼(5)를 분리하는 단계(S19); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼(5) 상에 이산화규소(7)를 도포하는 단계(S11-1); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 폴리이미드(6)의 경화 시 상기 스핀 코팅된 폴리이미드(6)를 60℃에서 4시간 경화하는 단계(S12-1); 및 상기 60℃에서 4시간 경화된 폴리이미드(6)를 250℃에서 3시간 경화하는 단계(S12-2); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
12 12
제9항에 있어서, 상기 폴리이미드(6) 상에 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)의 증착 시 폴리이미드(6) 상에 300Å의 티타튬(Ti)과 2㎛의 구리(Cu)를 증착하는 단계(S13-1); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
13 13
제9항에 있어서, 상기 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패터닝 시 중성화된 물(Deionized Water)에 희석된 불산(HF)용액으로 티타늄(Ti)를 습식에칭하는 단계(S14-1); 및 인산, 아세트산, 질산이 2:3:1로 혼합된 용액으로 구리(Cu)를 에칭하는 단계(S14-2); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
14 14
제9항에 있어서, 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8) 하부의 폴리이미드(6)를 제외한 나머지 부분의 폴리이미드(6)의 에칭 시 100%의 산소(O2)가스로 에칭하는 단계(S17-1); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
15 15
제9항에 있어서, 상기 알루미늄(Al)(9) 에칭 시 중성화된 물(Deionized Water)과 인산을 1:1로 혼합한 후 50℃로 가열한 용액으로 에칭하는 단계(S18-1); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
16 16
제9항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼(5)의 분리 시 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31) 및 각 접속 전극(13, 33)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 포함하는 실리콘 웨이퍼(5)에서 이산화규소(7)를 제거하고, BOE(Buffered Oxide Echant)에 넣어 실리콘 옥사이드(Si-Oxide)막을 에칭하는 단계(19-1); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
17 17
고리형 전극(11)과, 원형 전극(31); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)에 연장형성되는 각 접속 전극(13, 33); 체온 감지 저항(71)과, 저항 연결부(73)로 이루어지는 체온 감지센서(70); 및 상기 고리형 전극(11)과, 원형 전극(31), 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)에 연장형성되는 각 접속 전극(13, 33)과 체온 감지센서(70)를 그 상부면에 일체로 갖는 접촉 패드(50); 를 포함하는 구성으로 이루어지는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서(1)의 제작방법에 있어서, 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer, 5) 상에 폴리이미드(Polyimide, 6)를 스핀 코팅하는 단계(S21); 상기 스핀 코팅된 폴리이미드(6)를 경화하는 단계(S22); 상기 경화된 폴리이미드(6) 상에 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 증착하는 단계(S23); 상기 증착된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8)를 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)과 각 접속 전극(13, 33) 및 체온 감지센서(70)의 형상으로 패터닝(Patterning)하는 단계(S24); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)과 각 접속 전극(13, 33) 및 체온 감지센서(70)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8) 상에 알루미늄(Al)(9)을 증착하는 단계(S25); 상기 알루미늄(Al)(9)을 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)과 각 접속 전극(13, 33) 및 체온 감지센서(70)를 포함하는 형상으로 패터닝하는 단계(S26); 상기 고리형 전극(11)과 원형 전극(31)과 각 접속 전극(13, 33) 및 체온 감지센서(70)의 형상으로 패턴된 티타늄(Ti)/구리(Cu)(8) 하부의 폴리이미드(6)를 제외한 나머지 부분의 폴리이미드(6)를 에칭하는 단계(S27); 상기 패턴된 알루미늄(Al)(9)을 에칭하여 제거하는 단계(S28); 및 상기 폴리이미드(6)에서 실리콘 웨이퍼(5)를 분리하는 단계(S29); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 MEMS 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ECG 측정센서의 제작방법
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1 정보통신연구 진흥원 연세대학교 산학협력단 선도기반기술개발사업 생체신호 처리기반 Implantable System 개발