| 1 |
1
(1) 기판 상에 복수개의 전극을 병렬로 서로 마주보게 배치하는 단계; (2) 막대 형상의 나노 구조물이 분산되어 있는 용액을 상기 마주보는 각각의 다중 전극 사이에 두 전극 단부의 전부 혹은 일부가 잠기도록 제공하는 단계; (3) 상기 다중 전극에 전압을 가하여 용액 내 나노 구조물을 전극에 부착시키는 단계; (4) 일측이 다수의 분지된 형상을 가지며, 상기 분지된 끝단부에 나노 구조물이 부착될 수 있도록 복수개의 고정대가 배치되어 있는 지지대를 접근시켜 다중 전극에 부착되어있던 나노 구조물을 고정대의 끝에 부착시키는 단계; 및 (5) 상기 나노 구조물을 상기 고정대에 보다 단단히 고정시키는 단계 를 포함하는 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 기계적, 전기적 및 화학적 신호를 검출하는 프로브의 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 단계 (1)에서 상기 복수개의 전극이 기판상에 병렬로 서로 마주보게 배치되며, 모든 전극이 하나의 단자에 연결되거나 독립적으로 각각의 단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 전극이 증착법 등에 의해 금속을 얇은 층으로 기판 상에 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 고정대의 끝단부에 나노 구조물이 잘 부착되도록 하기 위해 전극의 한쪽 부분과 고정대가 전기적으로 연결되는 회로를 구성하여 전압을 인가할 수 있으며, 상기 고정대는 그 자체가 도체인 물질로 이루어졌거나 도체인 물질로 코팅된 것을 특징으로 하는 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 막대 형상의 나노 구조물은 카본 나노튜브, BCN타입 나노튜브, 보론 나노튜브, BN타입 나노튜브와 같은 나노튜브; 및 텅스텐 나노니들과 같은 나노와이어 또는 나노니들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 고정수단은 Au, Cr과 같은 금속 및 이산화규소(SiO2)의 절연 물질을 포함하는 무기 물질을 고정대와 막대 형상의 나노 구조물이 연결된 부위에 섬들(Islands)의 형태로 증착시켜 형성하는 것을 특징으로 방법
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 무기 섬들을 전자빔 증착기를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 고정수단은 막대 형상의 나노 구조물과 고정대가 연결된 부위에 CVD법(Chemical Vapor Deposition) 또는 PVD법(Physical Vapor Deposition)에 의해 코팅 필름을 도포하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 고정수단은 막대 형상의 나노 구조물과 고정대가 연결된 부위를 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope) 상에서 용융 접합 (fusion-welding)에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 단계 (4)를 수행할 때 기판 상의 전극들에는 전원이 차단되는 것을 특징으로 하는 방법
|
