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탐침(11)의 한쪽 끝을 고정하는 고정부(110)와;상기 탐침의 팁(11a)과 일정한 거리를 두고 배치된 전극(120)과;상기 탐침의 팁과 전극 사이의 간격을 조절하기 위한 이동수단(130)과;상기 탐침의 팁과 전극 사이의 거리를 측정할 수 있는 계측수단(140);상기 탐침(11)과 전극(120) 사이에 나노물질을 함유한 용액(300)을 주사하기 위한 수단; 그리고 상기 탐침과 전극 사이에 전압을 인가하기 위한 전원부(150)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 탐침에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서,상기 고정부(110)는 탐침(11)을 제외하고 전부를 절연체인 것을 특징으로 하는 탐침에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서,상기 전극(120)은, 전극 고정부(122)에 탈부착이 가능하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 탐침에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서, 상기 이동수단(130)에는 탐침 팁(11a)과 전극(120) 사이의 간격을 조절하기 위하여 스케일(Scale)이 부착되어 있는 마이크로 메타(Micrometer)가 설치되는 이동스테이지(Movable Stage)인 것을 특징으로 하는 탐침 팁에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서,상기 이동수단(130)에는, 상기 고정부(110)나 전극고정부(122)를 이동시키기 위한 피에조 구동기(Piezo Actuator)가 설치되는 것을 특징으로 하는 탐침 팁에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서, 상기 계측수단(140)은, 상기 탐침 팁(11a)과 전극(120) 사이의 변위값을 측정하기 위하여 상기 탐침 팁과 전극 사이의 접촉된 위치 또는 1㎛ 이하의 위치를 상기 팁과 전극 사이의 거리의 기준점으로 하는 것을 특징으로 하는 탐침 팁에의 나노 물질 조립장치
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제1항에 있어서,상기 계측수단은, 상기 탐침 팁(11a)과 전극(120) 사이의 간격을 화상으로 측정하기 위한 카메라(142)인 것을 특징으로 하는 탐침 팁에의 나노 물질 조립장치
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고정베이스(218) 위에 설치되되, 중앙부는 고정베이스(218)와 힌지결합(214)되고, 일단부에는 스프링(216)이 장착되며, 타단부에는 고정베이스(218)에 삽입되는 탐침(11)을 가압하기 위한 핀(212)이 탈착 가능하도록 설치되어 다수의 탐침(11)의 한쪽 끝을 고정하는 다수의 고정부(210)와;상기 각 탐침의 팁(11a)과 일정한 거리를 두고 배치된 각각의 전극(220)과;상기 탐침의 팁과 상기 전극(220) 사이의 간격을 조절하기 위한 이동수단(230)과;상기 탐침의 팁과 상기 전극 사이의 거리를 측정할 수 있는 계측수단(240); 그리고 상기 탐침과 상기 전극 사이에 전압을 인가하기 위한 전원부(250)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탐침에의 나노 물질 조립장치
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제9항에 있어서, 상기 전극(220)은 인쇄회로기판(222)의 패턴(Pattern)인 것을 특징으로 하는 탐침에의 나노 물질 조립장치
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제9항에 있어서,상기 이동수단(230)에는, 상기 전극(230)을 이동시키기 위한 피에조 구동기(Piezo Actuator)가 설치되는 것을 특징으로 하는 탐침 팁에의 나노 물질 조립장치
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주사탐침 현미경에 있어서, 제1항, 제3항 또는 제8항 중 어느 한 항에 따른 조립장치를 포함한 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
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주사탐침 현미경에 있어서, 제1항, 제3항 또는 제8항 중 어느 한 항에 따른 조립장치를 포함한 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
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