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전구물질을 기화시켜 공급하며, 일측에 플라즈마 반응장치(30)로 전구물질이 운송기체에 의해 연속적으로 공급될 수 있도록 운송기체 공급부(20)가 연통되는 전구체 발생장치(10)와;상기 전구체발생장치(10)와 일측단부가 연통되고 타공판에 의해 통로 전체에 균일하게 분포된 전구물질을 유입하여 이송시키는 유로(31)를 내부에 수평방향으로 형성하고, 유로의 중심부분에는 전구물질을 플라즈마 반응에 의해 나노입자로 생성하기 위한 플라즈마발생부(33)를 설치하되, 상기 유로(31)는 플라즈마 발생부 부분을 다른 유로부분보다 협소하게 형성하여 전구체의 유량을 직접시키고 반응시 유속을 증가시키며, 전구물질의 플라즈마반응부 유입비율을 크게 증가시키도록 한 플라즈마 반응장치(30)와;상기 플라즈마 반응장치(30)의 유로 타측단부와 연통되어 나노입자를 공급받으며, 공급된 나노입자를 일정온도로 가열시키는 가열장치(40)와;상기 가열장치(40)와 연통되고 가열된 나노입자를 포집할 수 있도록 내부에 일정공간이 형성된 포집장치(50)와;상기 플라즈마 반응장치(30)의 내부에 진공을 형성하기 위해 상기 플라즈마 반응장치(30)로부터 배출되는 나노입자의 진행로 상에 설치되는 진공형성수단(60); 을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 플라즈마를 이용한 나노입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 플라즈마반응장치(30)의 플라즈마발생부(33)는 유로(31)상에 플라즈마를 발생시키기 위해 설치되는 전극(34)과, 상기 전극(34)에 전원을 공급하는 전원공급부(35)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 플라즈마를 이용한 나노입자 제조장치
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제 3항에 있어서,상기 플라즈마반응장치(30)는,플라즈마 반응에 의해 전극의 온도상승을 방지하기 위해 전극(34)을 이중관으로 형성하여 내측관과 외측관을 각각 유입 및 유출관이 되도록 형성한 냉각유로(38)와 상기 냉각유로 내의 냉각수를 순환시키기 위한 펌프(39)로 이루어진 냉각수단(37)을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공 플라즈마를 이용한 나노입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 전구체 발생장치(10)와 유로(31) 사이에는 유량조절부(15)와 밸브(17)를 더 형성하여, 플라즈마반응장치(30)로 공급되는 유체의 흐름과 그 유량을 단속하고 플라즈마 반응부의 전극에 공급되는 전력을 가변가능 하도록 함으로써, 다수의 공정 변수인자를 선택적으로 제어하여, 크기와 분포 형태 및 밀도 등에서 다양한 나노입자를 선택적으로 생성할 수 있도록 함을 특징으로 하는 진공 플라즈마를 이용한 나노입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 진공형성수단(60)은 상기 포집장치(50)에 연통되어 설치된 진공펌프인 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마를 이용한 나노입자 제조장치
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