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나노 소자 구조물 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015128350
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 나노 소자 구조물은 나노 물질층을 용이하게 도포하고 나노 물질층과 전극 사이의 접촉 저항을 감소시킬 수 있도록, 정렬 기준부가 형성된 기판과, 상기 기판 위에 도포된 복수의 나노 물질층, 및 상기 나노 물질층의 상면과 접하도록 형성된 전극을 포함한다.나노 소자 구조물, 정렬 기준부, 분사, 나노 물질층
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020060063840 (2006.07.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0797093-0000 (2008.01.16)
공개번호/일자 10-2008-0004912 (2008.01.10) 문서열기
공고번호/일자 (20080122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.07)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한창수 대한민국 대전광역시 유성구
2 송진원 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤여환 대한민국 대전광역시 유성구
4 이응숙 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0487883-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0017677-74
4 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430442-20
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0346053-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0617124-02
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0617126-93
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0698372-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정렬 기준부가 형성된 기판;상기 기판 위에 서로 간격을 두고 도포된 복수의 나노 물질층; 및상기 나노 물질층의 상면과 접하도록 형성된 전극;을 포함하는 나노 소자 구조물
2 2
제1 항에 있어서,상기 나노 물질층은 0차원 구조물 또는 1차원 구조물로 이루어지는 나노 소자 구조물
3 3
제1 항에 있어서,상기 기판은 절연성을 지닌 소재로 유리나 폴리머 필름 또는 웨이퍼 위에 형성된 절연층으로 이루어지는 나노 소자 구조물
4 4
제1 항에 있어서,상기 전극은 상기 나노 물질층을 사이에 두고 이격 배치되는 나노 소자 구조물
5 5
제1 항에 있어서,상기 정렬 기준부는 복수개가 상기 기판의 중앙을 기준으로 대칭되는 위치에 형성되는 나노 소자 구조물
6 6
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노 물질층은 분사(Jetting) 방식에 의해 도포되는 나노 소자 구조물
7 7
제1 항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노 물질층은 탄소 나노튜브 또는 나노와이어로 이루어지는 나노 소자 구조물
8 8
기판에 정렬 기준부를 형성하는 단계;정렬 기준부가 형성된 기판 위에 상기 정렬 기준부를 기준으로 나노 물질이 포함된 용액을 기 설정된 패턴으로 도포하는 단계; 및나노 물질의 배열 위에 전극을 도포하는 단계;를 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
9 9
제8 항에 있어서,상기 나노물질이 포함된 용액은 기판을 향해 분사되어 기판상에 도포되는 나노 소자 구조물의 제조 방법
10 10
제8 항에 있어서,상기 나노 물질이 포함된 용액을 도포한 후, 불순물을 제거하는 단계를 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
11 11
제8 항에 있어서,상기 전극의 도포는 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition; CVD), 스퍼터링(Sputtering), 전자 빔 증착법(e-beam evaporation), 열 증착법(thermal evaporation) 중에서 선택되는 어느 하나의 방법으로 이루어지는 나노 소자 구조물의 제조 방법
12 12
제8 항에 있어서,상기 나노 물질이 포함된 용액을 도포한 후, 나노 물질의 뭉침을 방지하기 위해서, 상기 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
13 13
기판에 정렬 기준부를 형성하는 단계;상기 정렬 기준부가 형성된 기판 위에 금속 전극층을 형성하는 단계; 및상기 정렬 기준부를 이용하여 나노 물질 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
14 14
제13 항에 있어서,상기 나노 물질 패턴은 나노 물질이 포함된 용액이 기판 상으로 분사(Jetting)되어 형성되는 나노 소자 구조물의 제조 방법
15 15
제13 항에 있어서,상기 기판에 금속 전극층을 형성한 후, 상기 금속 전극층을 어닐링(annealing)하는 단계를 더 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
16 16
제13 항에 있어서,상기 기판에 나노 물질 패턴을 형성한 후, 상기 나노 물질의 적어도 일부를 수직으로 세우기 위하여 나노 물질 패턴을 표면 처리하는 단계를 더 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
17 17
제13 항에 있어서,상기 나노 물질 패턴을 형성하기 이전에 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는 나노 소자 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02038208 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP21543327 JP 일본 FAMILY
3 WO2008004777 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2038208 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2038208 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 JP2009543327 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2009543327 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2009543327 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 WO2008004777 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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