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지르코니아(ZrO2) 형성 전구체를 규소 및 소결조제와 함께 용매에 녹여 슬러리를 제조하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 제조한 슬러리를 건조시키고 성형하여 시편을 제조하는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 제조한 시편을 질소분위기(flowing nitrogen)에서 질화반응을 수행하여 질화 시편을 제조하는 단계(단계 3); 및상기 단계 3에서 제조한 질화 시편을 방전플라즈마소결(spark plasma sintering)하는 단계(단계 4)를 포함하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 지르코니아(ZrO2) 형성 전구체는 규소의 질화를 촉매하는 것을 특징으로 하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 지르코니아(ZrO2) 형성 전구체는 ZrOCl2·8H2O, ZrO(NO3)2·XH2O 또는 지르코늄 n-프로폭사이드(zirconium n-propoxide)인 것을 특징으로 하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 지르코니아(ZrO2) 형성 전구체의 함량은 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 소결조제는 5~10 중량%의 Lu2O3와 5 중량%이하의 SiO2의 혼합물 또는 1~10 중량%의 Y2O3와 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 용매는 C1~C6의 1차 알콜 또는 물인 것을 특징으로 하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 성형은 100~300 MPa 압력의 정수압성형인 것을 특징으로 하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 3의 질화반응은 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 4의 방전플라즈마소결 반응은 1450~1650 ℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항, 제2항, 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 제조되는 질화규소 소결체
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제11항에 있어서, 상기 질화규소의 입자 크기는 10~300 nm인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체
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