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가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템 및 이를 이용하는 노광방법

  • 기술번호 : KST2015128914
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템은 기판을 소정의 방향으로 이송하는 이송부; 노광 대상인 피노광물을 마련하기 위하여 상기 기판에 감광제를 적층하는 감광제 적층부; 상기 감광제가 적층된 상태로 이송되는 피노광물에 광을 조사하는 광조사부, 입력받은 노광패턴을 상기 기판 상에 형성하기 위하여 상기 광조사부를 제어하는 광제어부를 구비하는 노광부; 상기 노광된 피노광물을 인화하는 인화부;를 포함하고, 상기 노광부는 상기 이송되는 피노광물에 선형태의 광을 조사함으로써 2차원 또는 3차원의 노광패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.이에 의하여, 대면적의 기판에 마스크 없이 패턴을 형성할 수 있는 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템이 제공된다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01) B41M 7/00 (2006.01)
CPC G03F 7/7035(2013.01)G03F 7/7035(2013.01)G03F 7/7035(2013.01)G03F 7/7035(2013.01)G03F 7/7035(2013.01)G03F 7/7035(2013.01)
출원번호/일자 1020100074769 (2010.08.02)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1234747-0000 (2013.02.13)
공개번호/일자 10-2012-0012668 (2012.02.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최홍수 대한민국 대전광역시 유성구
2 최두선 대한민국 대전광역시 유성구
3 황경현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0499439-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0075837-59
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0321239-43
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0616953-18
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0708601-43
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0708587-91
10 등록결정서
Decision to grant
2013.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0051971-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 소정의 방향으로 이송하는 이송부;노광 대상인 피노광물을 마련하기 위하여 상기 기판에 감광제를 적층하는 감광제 적층부;상기 감광제가 적층된 상태로 이송되는 피노광물에 광을 조사하는 광조사부, 입력받은 노광패턴을 상기 기판 상에 형성하기 위하여 상기 광조사부를 제어하는 광제어부를 구비하는 노광부;상기 노광된 피노광물을 인화하는 인화부;를 포함하고,상기 노광부는 상기 이송되는 피노광물에 선형태의 광을 조사함으로써 2차원 또는 3차원의 노광패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 이송부는 롤러의 회전력에 의하여 상기 기판을 이송하는 것을 특징으로 하는 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템
3 3
제1항에 있어서,상기 광조사부는 상기 피노광물에 광을 조사하는 영사부가 마련되는 본체; 및 상기 본체의 단부에 구비되어, 상기 본체로부터 조사되는 광의 초점을 조정하는 렌즈기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템
4 4
제3항에 있어서,상기 광조사부는 상기 본체를 이동시기 위한 위치 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템
5 5
제3항에 있어서,상기 광조사부는 광이 출사되는 상기 본체의 단부에 마련되어 광을 차단하거나, 차단을 해제함으로써 광조사를 조절하는 광필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템
6 6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템을 이용하는 인라인 인쇄방법에 있어서,상기 이송부에 의해 이송되는 기판에 감광제를 적층하여 피노광물을 형성하는 적층단계;상기 피노광물에 형성하고자 하는 노광패턴을 입력받아 광의 조사패턴을 형성하고, 형성되는 조사패턴에 의하여 광조사를 제어함으로써 노광하는 노광단계;상기 노광된 피노광물을 인화하는 인화단계;를 포함하고,상기 노광단계는 상기 피노광물에 선형태의 광을 조사함으로써 2차원 또는 3차원 형상의 노광패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 인라인 인쇄방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국기계연구원 2010년도 주요사업(일반) 초정밀 기계부품시스템 공정혁신센터 구축사업