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임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2016004033
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법은 원통 형상의 몸체에 알루미늄층을 도포하는 단계와, 상기 알루미늄층을 양극 산화 시켜서 상기 알루미늄층에 미세 패턴을 갖는 패턴 형성 단계와, 에칭에 의하여 상기 미세 패턴을 상기 몸체로 전사하는 전사 단계, 및 상기 알루미늄층을 상기 몸체에서 분리하는 단계를 포함할 수 있다. 임프린트 리소그래피, 스탬프, 양극산화, 알루미늄
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0015(2013.01)
출원번호/일자 1020080034300 (2008.04.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1049220-0000 (2011.07.07)
공개번호/일자 10-2009-0108941 (2009.10.19) 문서열기
공고번호/일자 (20110713) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최대근 대한민국 대전 유성구
2 정준호 대한민국 대전 유성구
3 김기돈 대한민국 서울 송파구
4 이응숙 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0264866-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0071023-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0136986-66
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0348895-24
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0348896-70
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0486775-04
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0728046-02
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0728044-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
12 등록결정서
Decision to grant
2011.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0351202-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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표면이 알루미늄으로 이루어진 몸체를 준비하는 단계; 상기 몸체에 양극산화로 미세 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계; 상기 미세 패턴이 형성된 상기 몸체의 내측 표면에 밀착된 제1지지층을 형성하는 제1지지층 형성 단계; 및 상기 제1지지층을 상기 몸체에서 분리하는 제1지지층 분리 단계; 를 포함하며, 상기 몸체는 관 형상으로 이루어지고, 상기 미세 패턴은 상기 몸체의 내면에 형성되는 스탬프의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1지지층은 상기 패턴 형성단계에서 상기 알루미늄의 산화로 형성된 미세패턴보다 강도가 큰 합성수지 또는 금속으로 이루어진 스탬프의 제조 방법
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표면이 알루미늄으로 이루어진 몸체를 준비하는 단계; 상기 몸체에 양극산화로 미세 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계; 상기 미세 패턴이 형성된 상기 몸체의 표면에 밀착된 제1지지층을 형성하는 제1지지층 형성 단계; 및 상기 제1지지층을 상기 몸체에서 분리하는 제1지지층 분리 단계; 를 포함하며, 상기 몸체는 외면이 원통형상으로 이루어지고, 상기 패턴은 상기 몸체의 외면에 형성되며, 상기 제1지지층의 내측에 밀착된 제2지지층을 형성하는 제2지지층 형성 단계와, 상기 제2지지층을 상기 제1지지층에서 분리하는 제2지지층 분리 단계를 포함하는 스탬프의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 제2지지층은 상기 제1지지층은 상기 패턴 형성단계에서 상기 알루미늄의 산화로 형성된 미세 패턴보다 강도가 큰 합성수지 또는 금속으로 이루어진 스탬프의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과기부 한국기계연구원 기본사업 고효율 광부품을 위한 나노 패터닝 기술(3/3)