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ＵＶ 임프린팅 시스템의 유연척

  • 기술번호 : KST2015129107
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 UV 임프린팅 시스템에 구비되는 유연척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 임프린팅 공정에서 기판과의 물리적 접촉에 의해 패턴을 형성하는 스탬프 역할의 유연척이 외부에서 주입된 공기에 의해 볼록하게 형성되는 유연한 재질의 필름부 및 상기 필름부의 일측면에 부착되는 유연한 재질의 패턴부를 포함하여 형성됨으로써, 상기 유연척이 유연한 재질의 필름부에 의해 수직방향으로 이동된 기판과 중심부터 가장자리까지 순차적으로 골고루 접촉되고, 불규칙한 접촉면과 상관없이 균일하게 가압될 수 있는 UV 임프린팅 시스템의 유연척에 관한 것이다.
Int. CL B29C 43/32 (2006.01) B29C 33/30 (2006.01)
CPC B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01)
출원번호/일자 1020110013023 (2011.02.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1063363-0000 (2011.09.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
2 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재종 대한민국 대전광역시 서구
4 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0105026-33
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0155675-50
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0216300-66
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0450562-97
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0450556-12
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0447032-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판(2) 상에 나노 구조물을 형성하기 위한 UV 임프린팅 시스템에 구비되며, 상기 기판(2)이 고정되는 웨이퍼 척(5)과 마주보도록 설치되고, 수직으로 상향 또는 하향 이동함으로써 기판(2)과 밀착 또는 분리되어 스탬프 역할을 하는 UV 임프린팅 시스템의 유연척(1)에 있어서,상기 UV 임프린팅 시스템의 유연척(1)은마주보는 일측면과 타측면의 일정영역이 개방되며 내부에 일정공간이 형성되는 헤드부(10); 상기 헤드부(10)의 일측면에 개방된 영역을 밀폐하도록 설치되며 유연성 있는 재질로 자외선이 투과되는 필름부(20); 상기 헤드부(10)의 타측면에 개방된 영역을 밀폐하도록 설치되며 자외선이 투과되는 UV투과창(30); 상기 헤드부(10)의 내부에 공기가 주입도록 상기 헤드부(10)의 상기 UV투과창(30)이 형성되는 측면에 형성되는 공기주입부(40); 및 상기 UV투과창(30)을 통해 투과된 자외선이 조사될 수 있는 위치에 부착되되, 상기 공기주입부(40)를 통해 주입된 공기압에 의해 외측으로 볼록해진 상기 필름부(20) 외측면에 밀착되어 부착되는 유연성 있는 재질의 패턴부(50); 를 포함하여 형성되되,상기 기판(2)이 상향 이동하면서 상기 기판(2)과 볼록한 중심부터 가장자리까지 순차적으로 골고루 접촉되고,상기 기판(2)이 하향 이동하면서 가장자리에서부터 중심방향으로 상기 기판(2)이 유연척(1)에서 분리되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 UV 임프린팅 시스템의 유연척
2 2
제 1항에 있어서,상기 UV 임프린팅 시스템의 유연척(1)은상기 웨이퍼 척(5), UV투과창(30) 및 패턴부(50)의 중심이 일직선상에 위치되는 것을 특징으로 하는 UV 임프린팅 시스템의 유연척
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서,상기 공기주입부(40)는상기 공기주입부(40)를 밀폐시키는 마개(41)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 UV 임프린팅 시스템의 유연척
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 산업기술연구회-협동연구사업 3D Printed 전자소자 미세패터닝 공정장비기술 개발