| 1 |
1
X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 웨이퍼 고정부(100);상기 웨이퍼 고정부(100)의 상측에 고정되고 서로 일정거리 이격되며, 각각 상면에 레지스트(211,221)가 코팅되는 제1웨이퍼(210) 및 제2웨이퍼(220);상기 제1웨이퍼(210) 및 제2웨이퍼(220)의 상부에 설치되고, X축과 Y축 방향으로 이동 및 회전 가능하게 설치되며, 외주면에 패턴(310)이 형성되는 롤스탬프(300);상기 롤스탬프(300)의 상부에 설치되고, 공급롤(410)과 회수롤(420)에 연결되어 상기 회수롤(420)에 권취되도록 형성되는 유연기판(400);상기 유연기판(400)의 상면이 접촉되도록 고정되는 투명판(500); 및상기 투명판(500)의 상측에 위치되어 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 롤스탬프(300)로 자외선을 조사하는 자외선 조사장치(600); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1웨이퍼(210) 및 제2웨이퍼(220)의 상면에 코팅되는 레지스트(211,221)는 스핀코팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 웨이퍼 고정부(100)의 하측 또는 상기 롤스탬프(300)의 상측에 탄성부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 자외선 조사장치(600)는 자외선이 선형으로 집광되어 조사되도록 하거나, 슬릿에 의해 일정한 폭을 갖는 선형으로 조사되도록 하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치
|
| 5 |
5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치를 이용한 전사방법에 있어서,상기 롤스탬프(300)를 레지스트(211)가 코팅된 제1웨이퍼(210)에 접촉시키고, 상기 롤스탬프(300)를 회전 및 X축 방향으로 이동시켜 상기 롤스탬프(300)의 외주면에 상기 레지스트(211)의 일부가 옮겨지도록 하는 단계(S10);상기 레지스트(211)의 일부가 옮겨진 롤스탬프(300)를 상기 유연기판(400)에 접촉시키고 상기 롤스탬프(300)를 회전 및 X축 방향으로 이동시키면서, 상기 자외선 조사장치(600)로 자외선을 조사하여 레지스트(211)를 경화시켜 상기 유연기판(400)에 패턴(310)이 형성된 레지스트(211)가 전사되도록 하는 단계(S20);상기 공급롤(410) 및 회수롤(420)을 회전시켜 상기 레지스트(211)가 전사된 유연기판(400) 부분을 상기 회수롤(420)에 권취하는 단계(S30);상기 제2웨이퍼(220)를 상기 롤스탬프(300)의 하측으로 로딩한 후, 상기 제2웨이퍼(220)에 대하여 상기 S10단계 내지 S30단계를 수행하는 단계(S40); 상기 제1웨이퍼(210)를 제3웨이퍼(230)로 교체하고, 상기 제3웨이퍼(230)를 상기 롤스탬프(300)의 하측으로 로딩한 후, 상기 제3웨이퍼(230)에 대하여 상기 S10단계 내지 S30단계를 수행하는 단계(S50); 및교체되는 웨이퍼에 대하여 상기 S50단계를 반복 수행하는 단계(S60); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 롤스탬프(300)의 중심축은 S10단계 및 S20단계가 수행되는 동안 ''ㅁ''자 궤적을 그리도록 이동되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사방법
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,상기 S40단계가 수행되는 동시에 상기 S50단계에서의 웨이퍼 교체가 수행되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사방법
|
