요약 | 프리스탠딩 나노 박막 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프리스탠딩 나노 박막 제조방법은 제1 기재 상부에 나노 박막을 형성하는 제1 단계; 상기 나노 박막 상부에 제2 기재를 형성하고, 상기 제1 기재를 제거하여 적층체를 형성하는 제2 단계; 상기 적층체에서 상기 제2 기재를 제1 용매로 제거하는 제3 단계; 및 상기 제1 용매를 20 dyne/cm 이하의 계면장력을 갖는 제2 용매로 용매 치환하는 제4 단계를 포함한다. |
---|---|
Int. CL | C09J 7/02 (2006.01) B29C 41/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020120033163 (2012.03.30) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-1332306-0000 (2013.11.18) |
공개번호/일자 | 10-2013-0110870 (2013.10.10) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20131122) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.03.30) |
심사청구항수 | 11 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 최대근 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 황보윤 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 김재현 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 정준호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
5 | 이학주 | 대한민국 | 대전 서구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 남충우 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소) |
2 | 노철호 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.03.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0257539-53 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.06.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.07.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0051154-02 |
4 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.08.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0590648-80 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 제1 기재 상부에 나노 박막을 형성하는 제1 단계;상기 나노 박막 상부에 제2 기재를 형성하고, 상기 제1 기재를 제거하여 적층체를 형성하는 제2 단계;상기 적층체에서 상기 제2 기재를 제1 용매로 제거하는 제3 단계; 및상기 제1 용매를 20 dyne/cm 이하의 계면장력을 갖는 제2 용매로 용매 치환하는 제4 단계를 포함하는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 나노 박막의 두께는 0 |
3 |
3 청구항 1에 있어서, 상기 나노 박막은 그래핀(Graphene) 또는 카본나노튜브(Carbon Nano Tube)와 같은 탄소 동소체; SiN; SiO2; 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo) 또는 이들의 합금과 같은 금속; 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), GaAs, GaN 또는 GaP와 같은 반도체 재료; ZnO, ZrO2, TiO2 또는 HfO2와 같은 금속산화물; 폴리티오펜, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜), 폴리아세틸렌 또는 폴리아닐린과 같은 전도성 고분자로 이루어진 군에서 선택되는 물질로 박막화되는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
4 |
4 청구항 1에 있어서, 상기 제2 기재는 폴리(메틸)아크릴레이트, 폴리스티렌, PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리 우레탄계 필름, 수계 점착제, 수용성 점착제(폴리비닐알코올), 초산 비닐 에멀젼 접착제, 핫멜트 접착제, 광경화용(UV, 가시광, 전자선, UV/EB 경화용) 접착제, 광연화용 테이프, PBI(Polybenizimidazole), PI(Polyimide), Silicone/imide, BMI(Bismaleimide), 변성 에폭시 수지, PVB(Polyvinylalcohol)테이프, 접착 테이프(adhesive tape), 풀(glue), 에폭시수지(epoxy resin), 광연화용 테이프, 열 박리성 테이프 또는 수용성 테이프인 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
5 |
5 청구항 1에 있어서, 상기 제1 용매는 상기 제2 기재를 선택적으로 제거하는 것으로, 물; 황산, 질산, 불산 또는 수산화나트륨을 포함하는 수용액; 이소프로필알코올(IPA), 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 메틸이소부틸케톤, 테트라하이드로퓨란(THF), 사염화탄소(CCl4), 헥산, 4-메틸-2-펜타논, 케톤, 메틸에틸케톤, 프로판올, 부탄올, 펜탄올, 헥산올, 디메틸설폭사이드, 디메틸포름아마이드, N-메틸피롤리돈, 아세톤, 아세토니트릴, 테칸, 노난, 옥탄, 헵탄 및 펜탄으로 이루어진 군에서 선택되는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
6 |
6 청구항 1에 있어서, 상기 제2 용매는 메톡시-노나플루오로부탄, 에톡시-노나플루오로부탄, 메틸 노나플루오로이소부틸 에테르 또는 메틸 노나플루오로부틸 에테르을 포함하는 알콕시-나노플루오로부탄; C2Cl3F3, C2Cl2H3F, C3Cl2HF5, C5H2F10, 2,2,2-트리플루오로에틸 아크릴레이트, 디클로로디메틸실란, 클로로트리메틸실란 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
7 |
7 청구항 6에 있어서, 상기 제2 용매는 끓는점이 100℃ 이하인 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
8 |
8 청구항 1에 있어서, 상기 제2 용매를 건조하는 제5 단계를 더 포함하는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
9 |
9 제1 기재 상부에 나노 박막을 형성하는 제1 단계;상기 나노 박막 상부에 제2 기재를 형성하고, 상기 제1 기재를 제거하여 적층체를 형성하는 제2 단계;상기 적층체에서 상기 제2 기재를 용매로 제거하는 제3 단계; 및상기 용매에 계면활성제를 첨가하여 상기 용매의 계면장력을 낮추는 제4 단계를 포함하는 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
10 |
10 청구항 9에 있어서, 상기 계면활성제는 불화 계면활성제인 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 |
11 |
11 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 제조되는 프리스탠딩 나노 박막 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 지식경제부 | 한국기계연구원 | 지경부-국가연구개발사업(II) | 비노광 기반 나노구조체 제작기술 (3/3) |
2 | 지식경제부 | 한국기계연구원 | 지경부-국가연구개발사업(II) | 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발(2단계 1/3) |
특허 등록번호 | 10-1332306-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20120330 출원 번호 : 1020120033163 공고 연월일 : 20131122 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130827 청구범위의 항수 : 11 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 237,000 원 | 2013년 11월 19일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2016년 09월 07일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 197,400 원 | 2017년 09월 07일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 141,000 원 | 2018년 09월 07일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2019년 09월 09일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2020년 09월 11일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.03.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0257539-53 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.06.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2013.07.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0051154-02 |
4 | 등록결정서 | 2013.08.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0590648-80 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415116217 |
---|---|
세부과제번호 | 10033309 |
연구과제명 | 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200906~201405 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415131656 |
---|---|
세부과제번호 | 10033636 |
연구과제명 | 비노광 기반 나노구조체 제작기술 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 산업통상자원부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 200906~201405 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415122441 |
---|---|
세부과제번호 | 10033636 |
연구과제명 | 비노광 기반 나노구조체 제작기술 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200906~201405 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415122759 |
---|---|
세부과제번호 | 10033309 |
연구과제명 | 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200906~201405 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
[1020130146831] | 나노스피어 어레이 제조 장치 및 이를 이용한 나노스피어 어레이 제조 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020130111198] | 자기력을 이용한 나노박막 전사 장비 | 새창보기 |
[1020130062560] | 3차원 금속 나노 구조체 제조방법 및 이에 의하여 제조된 3차원 금속 나노 구조체 | 새창보기 |
[1020130059053] | 롤투롤 전사 장비의 동기화 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020130054682] | 자유지지형 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020130023041] | 플렉서블 비휘발성 메모리 소자용 강유전체 캐패시터, 플렉서블 비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020130023040] | 플렉서블 비휘발성 메모리 소자용 강유전체 캐패시터, 플렉서블 비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020130023038] | 플렉서블 비휘발성 메모리 소자용 강유전체 캐패시터, 플렉서블 비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020120137154] | 다층의 광결정층을 갖는 발광소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020120117980] | 이종 재료 나노패턴이 내장된 기판 제조방법 | 새창보기 |
[1020120104253] | 자유지지형 나노박막 제조 방법 및 제조 장치 | 새창보기 |
[1020120101058] | 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치 | 새창보기 |
[1020120090231] | 태양 전지 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020120062077] | 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020120061067] | 코어-쉘 나노와이어 어레이, 코어-쉘 나노와이어 어레이 제조방법 및 그 응용소자 | 새창보기 |
[1020120060650] | 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 | 새창보기 |
[1020120033163] | 프리스탠딩 나노 박막 제조방법 | 새창보기 |
[1020120022102] | 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치 | 새창보기 |
[1020120021866] | 대면적 연속 면저항 측정장치 | 새창보기 |
[1020120015041] | 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020120007402] | 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법2D | 새창보기 |
[1020110130769] | 그래핀 발광 장치 | 새창보기 |
[1020110078811] | 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치 | 새창보기 |
[1020110070576] | 블록공중합체 정렬을 이용한 나노 구조물 제조방법 | 새창보기 |
[1020110036951] | 광추출 효율이 향상된 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110034330] | 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법 | 새창보기 |
[1020110005152] | 멀티 스탬프를 이용한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 | 새창보기 |
[1020110003659] | 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 | 새창보기 |
[1020100132656] | 나노 임프린트용 스탬프의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100130785] | 미러형 스마트 리모콘 기술 | 새창보기 |
[1020100028065] | 대면적 나노 템플릿의 제조방법 및 이에 의해 제조된 대면적 나노 템플릿 | 새창보기 |
[1020090088302] | 역 임프린트 몰드 제조용 수지 조성물, 및 이를 이용한 역 임프린트 방법 | 새창보기 |
[1020090078066] | 나노선 패턴 형성 방법 및 선 편광자 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129964][한국기계연구원] | 광결정 나노 구조물 제작방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015128350][한국기계연구원] | 나노 소자 구조물 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129957][한국기계연구원] | 양자점 박막 형성 방법 | 새창보기 |
[KST2014039762][한국기계연구원] | 금속 나노 구조 어레이 | 새창보기 |
[KST2015128383][한국기계연구원] | 탄소나노튜브 투명 전도체 | 새창보기 |
[KST2015128978][한국기계연구원] | 양자점 포함하는 파장변환용 나노복합체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015128590][한국기계연구원] | 탄소나노튜브 기반의 이종접합 구조체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015129742][한국기계연구원] | 단일벽 탄소나노튜브의 분리방법 | 새창보기 |
[KST2015128571][한국기계연구원] | 나노선 패턴 형성 방법 및 선 편광자 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015130634][한국기계연구원] | 나노 금속패턴 형성방법 | 새창보기 |
[KST2015130161][한국기계연구원] | 나노와이어가 구비된 기판 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015002429][한국기계연구원] | 금속 나노 구조 어레이 | 새창보기 |
[KST2015128247][한국기계연구원] | 랭뮤어 블로제트을 이용한 나노 물질의 부착방법 | 새창보기 |
[KST2015129548][한국기계연구원] | 초발수 및 초발유성 표면 구현을 위한 나노 구조물 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129317][한국기계연구원] | 마이크로 보강 범퍼를 갖는 초발수 표면 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조된 초발수 표면을 갖는 초발수 제품 | 새창보기 |
[KST2014027071][한국기계연구원] | 초정밀 나노급 XY 스테이지 | 새창보기 |
[KST2016003850][한국기계연구원] | 나노섬유 검사 및 보수 장치 및 그 방법 | 새창보기 |
[KST2015130868][한국기계연구원] | 용융 금속을 이용한 금속-탄소 복합재 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129574][한국기계연구원] | 이종소재간의 접합공정을 이용한 구조물제조방법 | 새창보기 |
[KST2015130180][한국기계연구원] | 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법 | 새창보기 |
[KST2015128904][한국기계연구원] | 나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015128605][한국기계연구원] | 나노입자 박막 제조방법 및 이를 이용하는 나노 임프린트용 스탬프 제작방법 | 새창보기 |
[KST2015129718][한국기계연구원] | 나노채널이 형성된 나노구조체의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015129953][한국기계연구원] | 할로겐염에 의해 안정화된 양자점 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2016005685][한국기계연구원] | 이종 나노 입자 성장장치 및 이종 나노 입자 성장방법(APPARATUS FOR GROWING HETEROGENEOUS NANO PARTICLE AND METHOD FOR GROWING HETEROGENEOUS NANO PARTICLE) | 새창보기 |
[KST2015130099][한국기계연구원] | 콜로이드 자기조립에 의한 다공성 마스크의 제조방법 및그 용도 | 새창보기 |
[KST2015130933][한국기계연구원] | 나노 임프린트용 스탬프의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129473][한국기계연구원] | 금속산화막이 형성된 탄소 입자를 이용한 금속-탄소 복합재 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015129621][한국기계연구원] | 양자점과 그의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014007010][한국기계연구원] | 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법과 이의 나노 구조물 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|