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기판에 관통공을 형성하는 관통공형성단계;상기 관통공의 직경보다 작은 직경의 개구부가 형성되는 구조물을 상기 관통공의 입구 측에 형성하는 구조물형성단계;상기 관통공의 내부에 감광제를 충진하는 충진단계;빛이 상기 개구부를 통과할 때 발생하는 회절현상에 의해서 상기 관통공에 충진된 상기 감광제의 일부 영역이 노광되도록, 상기 구조물에 빛을 조사하는 조사단계;상기 조사단계에서 노광된 상기 감광제를 제거하는 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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제1항에 있어서,상기 구조물은 상기 기판에 박막을 증착시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 조사단계에서 상기 감광제가 노광되는 영역을 조절하도록 빛의 파장을 조절하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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제3항에 있어서,상기 제거단계에서 제거되는 상기 감광제의 영역을 조절하도록, 상기 감광제의 종류를 달리하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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제3항에 있어서,상기 제거단계는 현상액과 노광된 상기 감광제가 화학반응함으로써 노광된 상기 감광제가 제거되도록, 상기 현상액을 상기 기판에 주입하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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제5항에 있어서,상기 제거단계에서 제거되는 상기 감광제의 영역을 조절하도록, 상기 현상액의 종류를 달리하는 것을 특징으로 하는 나노채널 제작방법
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