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상부 안내면, 하부 안내면 및 측부 안내면을 구비한 베어링 안내면과 마주하는 몸체;상기 상부 안내면 및 하부 안내면 각각 마주하는 몸체의 면들에 설치된 공압 패드;상기 측부 안내면과 마주하는 몸체의 면에 설치된 공압 패드와 흡입부;상기 몸체에 장착되고, 상기 베어링 안내면에 대한 자신의 직선 변위를 획득하는 직선 변위 획득부; 및상기 베어링 안내면에 대한 상기 몸체의 회전 변위를 산출하는 회전 변위 획득부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 흡입부는 진공예압용 포켓인 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 흡입부는 상기 베어링 안내면에 대해 인력을 작용하는 자석인 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 직선 변위 획득부는 상기 베어링 안내면의 길이 방향을 따라 서로 이격된 적어도 한 쌍의 정전용량형 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 회전 변위 획득부는 직선 변위 측정용 레이저 간섭계, 회전 변위 측정용 레이저 간섭계 및 오토콜리메이터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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베어링 안내면과 마주하면서 상기 베어링 안내면의 길이 방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있도록 구비된 몸체;상기 몸체에 장착되어 상기 몸체가 상기 베어링 안내면과 마주한 상태로부터 이탈하는 것을 방지하는 이탈방지수단;상기 몸체에 장착되고, 상기 베어링 안내면에 대한 자신의 직선 변위를 획득하는 직선 변위 획득부; 및상기 베어링 안내면에 대한 상기 몸체의 회전 변위를 산출하는 회전 변위 획득부;를 포함하되,상기 몸체는 서로 대향하고 있는 베어링 안내면들 각각과 마주하는 양단을 구비하고, 상기 직선 변위 획득부는 상기 몸체의 양단 모두에 장착된 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제7항에 있어서,상기 이탈방지수단은 상기 몸체와 결합하여 상기 몸체의 상기 X축 방향 이동을 안내하는 가이드인 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제8항에 있어서,상기 가이드와 상기 몸체는 공압 베어링을 통해 결합된 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제7항에 있어서,상기 이탈방지수단은 상기 몸체 양단의 상면, 하면 및 측면에 설치된 복수의 공압 패드인 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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제2항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 몸체를 상기 베어링 안내면의 길이 방향을 따라 왕복시키는 몸체이동수단을 더 포함하되 상기 몸체이동수단은,상기 베어링 안내면의 길이 방향을 따라 이격된 몸체의 두 측면에 각각 연결된 제1와이어와 제2와이어;상기 제2와이어를 감거나 푸는 구동풀리;상기 구동풀리를 회전시키는 모터; 및상기 제1와이어의 단부에 연결된 무게추;를 포함하는 것을 특징으로 하는 베어링 안내면 정밀도 측정 장치
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