맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015174131
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은, NCTF 제어에 따른 매크로 다이내믹 제어와 PID 제어에 따른 마이크로 제어를 효과적으로 스위칭하여 볼 스크류 구동 스테이지의 안정적이고 빠른 위치 제어를 가능하게 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법 및 장치에 대한 것이다. 본 발명은, 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 단계; (b) 상기 스테이지의 이송 속도의 변화 또는 상기 스테이지의 현재 위치와 목적 위치와의 차이 중 어느 하나, 및 상기 스테이지에 가해지는 구동력의 변화를 기준으로 상기 스테이지의 위치 제어 방식을 마이크로 다이내믹 제어로 스위칭하는 단계; 및 (c) 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어를 수행하여 상기 스테이지를 목적 위치로 제어하는 단계를 포함하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법을 제공한다. 볼 스크류 구동 스테이지, NCTF, PID, 제어, 스위칭
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC G05B 19/19(2013.01) G05B 19/19(2013.01) G05B 19/19(2013.01)
출원번호/일자 1020080090177 (2008.09.12)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0991267-0000 (2010.10.26)
공개번호/일자 10-2010-0031200 (2010.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20101101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.12)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이선규 대한민국 광주광역시 북구
2 김규하 대한민국 광주광역시 북구
3 조상구 대한민국 서울특별시 성동구
4 김완수 대한민국 광주광역시 북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인우인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 중평빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0647498-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0022668-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0179125-24
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0416122-90
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0416120-09
7 등록결정서
Decision to grant		 2010.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0474208-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지의 목적 위치를 설정하는 단계; (b) 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 단계; (c) 상기 스테이지의 실제 위치와 상기 목적 위치 간의 거리가 기준 거리 내인지 여부를 판별하는 단계; (d) 상기 (c) 단계에 따른 판별 결과가 긍정인 경우, 상기 스테이지를 구동하는 구동력의 변화를 판별하는 단계; (e) 상기 (d) 단계에 따른 판별 결과 상기 스테이지를 구동하는 구동력이 감소한 것으로 판별된 경우, 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어가 이루어지도록 스위칭하는 단계; 및 (f) 상기 스테이지가 목적 위치에 도달되도록 제어하는 단계 를 포함하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 매크로 다이내믹 제어는 NCTF 제어 방식에 의해 이루어지며, 상기 마이크로 다이내믹 제어는 PID 제어 방식에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 스테이지에 대한 구동력이 감소하여 소정 범위 이내에 들어오는 경우에 수행되는 것을 특징으로 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법
4 4
볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 단계; (b) 상기 스테이지의 이송 속도가 소정 범위 이내이거나 상기 스테이지의 현재 위치와 목적 위치와의 차이가 기준 거리 내이고, 상기 스테이지에 가해지는 구동력이 감소하거나 소정 범위 이내인 경우 상기 스테이지의 위치 제어 방식을 마이크로 다이내믹 제어로 스위칭하는 단계; 및 (c) 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어를 수행하여 상기 스테이지를 목적 위치로 제어하는 단계 를 포함하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 매크로 다이내믹 제어는 NCTF 제어 방식에 의해 이루어지며, 상기 마이크로 다이내믹 제어는 PID 제어 방식에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 방법
6 6
볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 장치에 있어서, 상기 스테이지에 대하여 매크로 다이내믹 제어를 수행하는 매크로 제어부; 상기 스테이지에 대하여 마이크로 다이내믹 제어를 수행하는 마이크로 제어부; 및 상기 매크로 제어부와 상기 마이크로 제어부를 스위칭하는 스위칭부 를 포함하되, 상기 스위칭부는, 상기 스테이지의 이송 속도가 소정 범위 이내이거나 상기 스테이지의 현재 위치와 목적 위치와의 차이가 기준 거리 내이고, 상기 스테이지에 가해지는 구동력이 감소하거나 소정 범위 이내인 경우 상기 스위칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 매크로 제어부는 NCTF 제어 방식에 의해 이루어지며, 상기 마이크로 제어부는 PID 제어 방식에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼 스크류 구동 스테이지의 위치 제어 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.