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임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015130946
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 스탬프용 레지스트가 도포되며 마스터 스탬프가 설치되는 복제 용기의 양측 가장자리에 인서트가 설치되며, 도포된 스탬프용 레지스트와 함께 경화된 인서트에 유연스탬프 조작수단이 체결되도록 하고, 상기 유연스탬프 조작수단의 조작에 의해 상기 인서트가 들어 올려짐에 따라 경화된 스탬프용 레지스트가 상기 마스터 스탬프로부터 가장자리에서 중심방향으로 서서히 분리되도록 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL B29C 33/42 (2006.01) B29C 33/38 (2006.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자 1020110059510 (2011.06.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1069545-0000 (2011.09.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111005) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.20)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
2 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재종 대한민국 대전광역시 서구
4 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0464442-99
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0464883-10
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0398010-43
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0572121-04
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0572150-17
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0499830-56
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유연한 재질의 임프린트 리소그래피용 유연스탬프를 제조하는 장치에 있어서,상기 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치는 복제 수단(100)과 유연스탬프 조작수단(200)을 포함하여 형성되며,상기 복제 수단(100)은액체 상태의 스탬프용 레지스트(110)가 도포되어 수용되도록 편평하게 형성된 복제판(120) 및 상기 복제판(120)의 가장자리를 따라 상측으로 돌출되는 몰드(130)로 구성되는 복제 용기(140);일정 패턴이 적어도 한쪽 면에 인각되어 형성되며, 패턴이 형성된 측면이 상측을 향하도록 상기 복제판(120)에 설치되는 마스터 스탬프(150); 및상기 마스터 스탬프(150)와 상기 몰드(130) 사이 공간의 상기 복제판(120)에 설치되되, 상기 복제판(120)의 가장자리 중 적어도 어느 하나 이상에 배치되어 설치되는 인서트(160); 를 포함하여 형성되며,상기 유연스탬프 조작수단(200)은상기 복제 수단(100)의 상기 복제 용기(140)에 도포되어 상기 인서트(160)와 함께 경화된 스탬프용 레지스트(110)를 상기 마스터 스탬프(150)로부터 분리시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 유연스탬프 조작수단(200)은상기 인서트(160)와 체결되어 상기 인서트(160)를 상ㆍ하 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 인서트(160)는너비방향 또는 길이방향으로 양측 가장자리 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 유연스탬프 조작수단(200)은판 형태이며, 벤딩 가능한 재질로 제작되는 벤딩가이드(210);상기 벤딩가이드(210)의 너비방향 또는 길이방향으로 양측 가장자리에 설치되며, 상기 인서트(160)와 체결되는 인서트 체결블럭(220);상기 벤딩가이드(210)의 상측에 설치되며, 하측면이 너비방향 또는 길이방향으로의 단면이 원호 형태로 형성되는 원형가이드(230);상기 원형가이드(230)의 상측 중앙부에 설치되며, 회전 가능한 와이어 조절수단(240); 및상기 인서트 체결블럭(220)과 상기 와이어 조절수단(240) 사이에 연결되어 형성되며, 상기 와이어 조절수단(240)의 회전에 의해 감기거나 풀어져 길이가 조절되는 와이어(250); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
5 5
제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치(10)는고정수단(260)이 상기 인서트(160)를 관통하여 상기 복제판(120)에 고정되며,상기 고정수단(260)이 상기 인서트 체결블럭(220)에 체결되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 고정수단(260)은상기 인서트(160)를 상기 복제판(120)으로부터 일정 거리 높이 방향으로 이격시켜 고정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
7 7
제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치(10)는상기 인서트(160) 및 상기 인서트 체결블럭(220) 중 어느 하나가 자석이며,나머지 하나가 자석에 반응하는 도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
8 8
제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치(10)는상기 인서트(160) 상측면에 돌출되는 돌기부가 형성되며,상기 돌기부가 상기 인서트 체결블럭(220)에 체결되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치
9 9
4항에 의한 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치(10)를 이용하여 유연스탬프를 제조하는 방법에 있어서,a) 상기 복제 용기(140)의 복제판(120)에 상기 마스터 스탬프(150)가 설치되는 마스터 스탬프 준비 단계(S10);b) 상기 마스터 스탬프(150)와 상기 몰드(130) 사이 공간의 상기 복제판(120)에 상기 인서트(160)가 설치되는 인서트 설치 단계(S20);c) 상기 복제 용기(140)의 복제판(120)에 스탬프용 레지스트(110)가 편평하게 도포되는 레지스트 도포 단계(S30);d) 상기 스탬프용 레지스트(110)가 자외선 조사 또는 열에 의해 경화되는 경화 단계(S40);e) 상기 유연스탬프 조작수단(200)이 상기 복제판(120)과 마주보도록 상측에 설치되는 유연스탬프 조작수단 설치 단계(S50);f) 상기 스탬프용 레지스트(110)와 함께 경화된 상기 인서트(160)와, 상기 인서트 체결블럭(220)이 체결되는 인서트 체결 단계(S60);g) 상기 와이어 조절수단(240)의 회전에 의해 상기 와이어(250)가 감기면서 상기 인서트(160)를 상측으로 들어 올리는 인서트 이동 단계(S70);h) 경화된 상기 스탬프용 레지스트(110)가 상기 마스터 스탬프(150)로부터 상기 복제 용기(140)의 길이방향 또는 너비방향으로 양측 가장자리에서 중심 방향으로 분리되어 유연스탬프(20)가 완성되는 유연스탬프 분리 및 완성 단계(S80); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 방법
10 10
제 9항에 있어서,상기 유연스탬프 분리 및 완성 단계(S80)에서는경화된 상기 스탬프용 레지스트(110)가 상기 복제 용기(140)의 너비방향 또는 길이방향으로 양측 가장자리부터 동일한 속도로 분리되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 레지스트 도포 단계(S30)에서는상기 스탬프용 레지스트(110)에 의해 상기 인서트(160)가 완전히 잠기도록 상기 스탬프용 레지스트(110)가 상기 복제 용기(140)에 도포되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 산업기술연구회-협동연구사업 3D Printed 전자소자 미세패터닝 공정장비기술 개발