맞춤기술찾기

이전대상기술

더미형 웨이퍼 보트

  • 기술번호 : KST2015131489
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체설비에 사용되는 더미형 웨이퍼 보트에 관한 것으로서, 웨이퍼가 적제되는 공간을 형성하는 한쌍의 제 1, 2플레이트와, 상기 제 1, 2플레이트를 연결하고, 적재되는 상기 웨이퍼들을 지지하는 다수의 연결로드와, 상기 제 1, 2플레이트 사이에 위치하고 상기 연결로드의 나란한 방향으로 이동 가능하게 마련되어 가동형더미웨이퍼를 구비함으로써 웨이퍼 제조 공정시 필요한 더미 웨이퍼를 웨이퍼 보트에 일체화함으로써 웨이퍼의 제조 공정시 더미 웨이퍼의 적재에 따른 파티클의 유입을 방지할 수 있는 효과가 있으며, 동시에 웨이퍼와 더미 웨이퍼의 혼용에 따른 작업자의 주의와 부담이 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67313(2013.01)
출원번호/일자 1020080022147 (2008.03.10)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0097007 (2009.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.27)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황성우 대한민국 서울특별시 강남구
2 최루리 대한민국 서울특별시 노원구
3 홍병학 대한민국 서울 성북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인비전 특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0173637-54
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0177590-52
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.11.13 수리 (Accepted) 9-1-2013-0094508-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0097029-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0372565-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼가 적제되는 공간을 형성하는 한쌍의 제 1, 2플레이트와, 상기 제 1, 2플레이트를 연결하고, 적재되는 상기 웨이퍼들을 지지하는 다수의 연결로드와, 상기 제 1, 2플레이트 사이에 위치하고 상기 연결로드의 나란한 방향으로 이동 가능하게 마련되어 가동형더미웨이퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 더미형 웨이퍼 보트
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제 1, 2플레이트는 상기 연결로드에 의해 소정의 간격을 유지하며, 하부에는 지면을 지지하기 위한 지지단이 형성되는 것을 특징으로 하는 더미형 웨이퍼 보트
3 3
제 1항에 있어서, 상기 가동형더미웨이퍼는 상기 제 1, 2플레이트 사이에 마련되는 다수의 이동축과, 상기 이동축에 슬라이드 이동가능하게 결합되는 슬리브가 형성되는 더미웨이퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 더미형 웨이퍼 보트
4 4
제 3항에 있어서, 상기 더미웨이퍼는 외주면에 상기 연결로드에 대응되는 위치에는 상기 연결로드와의 간섭을 방지하기 위하여 상기 연결로드에 대하여 함입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 더미형 웨이퍼 보트
5 5
제 3항에 있어서, 상기 이동축의 외주면에 상기 이동축의 길이 방향을 따라 상기 웨이퍼의 적재간격으로 다수의 걸림턱이 형성되고, 상기 슬리브의 내측에 상기 걸림턱에 소정의 탄성력에 의해 거치되는 걸림스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 더미형 웨이퍼 보트
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 고려대학교 산학협력단 창의적연구진흥사업 타임도메인 나노 기능 소자 연구(창의사업)