요약 | 본 발명은 반도체 패키지 제조공정 중 와이어 본딩 공정에 사용되는 와이어 본더(wire bonder)의 캐필러리(capillary) 막힘 개선장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 종래의 와이어 본더에 고온에 따른 기압 팽창을 이용한 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치를 구비하도록 함으로써 와이어 본딩 공정 중 막힌 캐필러리를 간단히 뚫을 수 있는 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치는 상기 와이어본더에 결합되는 몸체부, 상기 캐필러리의 와이어 홀에 액체를 주입하기 위한 액체주입부 및 상기 액체주입부의 위치를 조절하기 위한 수동손잡이부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치에 의하면 막힌 캐필러리를 뚫어 다시 와이어 본딩을 하는데 까지 소요되는 시간을 현저히 줄일수 있으며, 캐필러리의 교체에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다. 와이어본더, 캐필러리 |
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Int. CL | H01L 21/60 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020080007886 (2008.01.25) |
출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0930290-0000 (2009.11.30) |
공개번호/일자 | 10-2009-0081809 (2009.07.29) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20091209) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.01.25) |
심사청구항수 | 5 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 황성우 | 대한민국 | 서울 성북구 |
2 | 홍병학 | 대한민국 | 서울 성북구 |
3 | 정영채 | 대한민국 | 서울 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이철희 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0062977-92 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.03.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5034712-96 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.03.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.04.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0022687-17 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.06.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5111177-32 |
6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0273961-36 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.08.06 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0480615-18 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.08.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0480620-36 |
9 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.11.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0470789-00 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 와이어본더에 결합되는 몸체부; 상기 와이어본더의 캐필러리의 와이어 홀이 막힌 경우 상기 와이어 홀 내에 액체를 주입하고 상기 막힌 와이어 홀의 반대편 부분을 밀폐시키는 액체주입부; 및 상기 액체주입부의 위치를 조절하기 위한 수동손잡이부;를 구비하고, 상기 와이어 홀에 주입된 액체가 상기 와이어본더에 구비된 히터에 의해 가열 및 팽창되어 상기 와이어 홀의 막힌 부분을 제거하는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 수동손잡이부는 필요한 액체를 주입하기 위한 피스톤을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 제2항에 있어서,상기 액체주입부는 플렉시블 튜브(flexible tube)에 의해 상기 수동손잡이부와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치 |
5 |
5 제4항에 있어서,상기 피스톤은 상기 수동손잡이부로부터 분리 가능한 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 제1항에 있어서,상기 와이어 홀에 주입된 액체는 물인 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0930290-0000 |
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표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080125 출원 번호 : 1020080007886 공고 연월일 : 20091209 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20091116 청구범위의 항수 : 5 유별 : H01L 21/60 발명의 명칭 : 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치 존속기간(예정)만료일 : 20161201 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 120,000 원 | 2009년 12월 01일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 150,000 원 | 2012년 10월 04일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 150,000 원 | 2013년 07월 17일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 105,000 원 | 2014년 08월 25일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 298,700 원 | 2015년 12월 28일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0062977-92 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.03.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5034712-96 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.03.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2009.04.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0022687-17 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.06.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5111177-32 |
6 | 의견제출통지서 | 2009.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0273961-36 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.08.06 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0480615-18 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.08.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0480620-36 |
9 | 등록결정서 | 2009.11.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0470789-00 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345072462 |
---|---|
세부과제번호 | R16-2007-007-01001-0 |
연구과제명 | 타임도메인나노기능소자연구단(타임도메인나노기능소자연구) |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 고려대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200705~201602 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345096808 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A1602 |
연구과제명 | BK21정보기술사업단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 고려대학교 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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