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와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치

  • 기술번호 : KST2015131445
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 패키지 제조공정 중 와이어 본딩 공정에 사용되는 와이어 본더(wire bonder)의 캐필러리(capillary) 막힘 개선장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 종래의 와이어 본더에 고온에 따른 기압 팽창을 이용한 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치를 구비하도록 함으로써 와이어 본딩 공정 중 막힌 캐필러리를 간단히 뚫을 수 있는 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치는 상기 와이어본더에 결합되는 몸체부, 상기 캐필러리의 와이어 홀에 액체를 주입하기 위한 액체주입부 및 상기 액체주입부의 위치를 조절하기 위한 수동손잡이부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 와이어 본더의 캐필러리 막힘 개선장치에 의하면 막힌 캐필러리를 뚫어 다시 와이어 본딩을 하는데 까지 소요되는 시간을 현저히 줄일수 있으며, 캐필러리의 교체에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다. 와이어본더, 캐필러리
Int. CL H01L 21/60 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080007886 (2008.01.25)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0930290-0000 (2009.11.30)
공개번호/일자 10-2009-0081809 (2009.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20091209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황성우 대한민국 서울 성북구
2 홍병학 대한민국 서울 성북구
3 정영채 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0062977-92
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.03.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0022687-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0273961-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.08.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0480615-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0480620-36
9 등록결정서
Decision to grant
2009.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0470789-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
와이어본더에 결합되는 몸체부; 상기 와이어본더의 캐필러리의 와이어 홀이 막힌 경우 상기 와이어 홀 내에 액체를 주입하고 상기 막힌 와이어 홀의 반대편 부분을 밀폐시키는 액체주입부; 및 상기 액체주입부의 위치를 조절하기 위한 수동손잡이부;를 구비하고, 상기 와이어 홀에 주입된 액체가 상기 와이어본더에 구비된 히터에 의해 가열 및 팽창되어 상기 와이어 홀의 막힌 부분을 제거하는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 수동손잡이부는 필요한 액체를 주입하기 위한 피스톤을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치
3 3
삭제
4 4
제2항에 있어서,상기 액체주입부는 플렉시블 튜브(flexible tube)에 의해 상기 수동손잡이부와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치
5 5
제4항에 있어서,상기 피스톤은 상기 수동손잡이부로부터 분리 가능한 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 와이어 홀에 주입된 액체는 물인 것을 특징으로 하는 와이어본더의 캐필러리 막힘 개선장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.