요약 | 미세 패턴이 표면 상에 형성된 고분자 몰드 위에 투명 산화 물질의 기능성 용액을 스핀-코팅하고, 원통 형상의 유리관 위에 접착 물질을 코팅하여 유리관 외부에 접착층을 형성한 후, 유리관을 마스터 몰드 위에 가압하여 굴려 기능성 물질을 전사시킨다. 그리고 전사된 기능성 물질의 나노 패턴에 이형 처리를 하여 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 몰드를 제작한다. 이를 통해 내구성이 형상되고 이음새 부분의 결함이 생기는 문제를 해결하며 공정이 저렴한 투명 롤 몰드를 제작할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 21/027 (2006.01) |
CPC | H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100051842 (2010.06.01) |
출원인 | 고려대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1086083-0000 (2011.11.16) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20111125) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.06.01) |
심사청구항수 | 8 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이헌 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
2 | 양기연 | 대한민국 | 서울특별시 동작구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김한 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 고려대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0353809-36 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.04.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0042910-22 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.05.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0278641-51 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0572437-15 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.07.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0572468-20 |
8 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.11.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0661831-14 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 미세 패턴이 표면 상에 형성된 고분자 몰드를 제공하는 제 1 단계;상기 고분자 몰드 상에 기능성 물질이 형성된 마스터 몰드를 제작하는 제 2 단계 - 상기 기능성 물질은 상기 고분자 몰드 위에 기능성 용액을 스핀-코팅하고 경화 처리하여 형성하며, 상기 기능성 물질의 상부면은 상기 고분자 몰드의 미세 패턴 상에서 평평하게 코팅되고, 상기 기능성 물질의 하부면은 상기 미세 패턴에 대응되는 미세 나노 패턴이 생성됨 -;원통 형상의 유리관 위에 접착 물질을 코팅하여 상기 유리관 외부에 접착층을 형성하는 제 3 단계;상기 유리관을 상기 마스터 몰드 위에 가압하여 굴려 상기 기능성 물질을 상기 유리관에 전사시키는 제 4 단계; 및상기 전사된 기능성 물질의 나노 패턴에 이형 처리를 하여 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 몰드를 제작하는 제 5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 기능성 용액은 나노 입자 용액 또는 졸 용액 또는 스핀-온-글래스 용액 중 어느 하나 이거나 이들 중 둘 이상을 결합한 용액인 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
3 |
3 제 2 항에 있어서,상기 나노 입자 용액은 SiO2, TiO2, Al2O3, ZnO 중 어느 하나 이상의 물질의 결합으로 제조되는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
4 |
4 제 2 항에 있어서,상기 졸 용액은 SiO2, TiO2, Al2O3, ZnO 중 어느 하나 이상의 물질의 결합으로 제조되는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
5 |
5 제 2 항에 있어서,상기 스핀-온-글래스 용액은 실록산(siloxane), MSQ(methyl silsequioxane), HSQ(hydrogen silsequioxane), THPS(perhydropolysilazane), 폴리실라잔(polysilazane) 중 하나 이상의 물질의 결합으로 제조되는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 접착 물질은, HMDS(hexamethyldisiloxane), UV 경화 본딩 재료, 열 경화 본딩 재료 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 제 4 단계는, UV 노출 또는 가열 또는 UV 노출과 동시에 가열을 통해 상기 기능성 물질을 전사시키는 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 제 4 단계 뒤에, 상기 전사된 기능성 물질 위에 어닐링 공정을 하여 겔 나노 패턴 또는 스핀-온 글래스 패턴의 상기 기능성 물질을 무기물 나노 구조로 변환시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 한국과학재단 | 고려대학교 산학협력단 | 원천기술개발사업 | 나노 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 고성능 나노섬 구조 TFT 제작 기술 개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-1086083-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20100601 출원 번호 : 1020100051842 공고 연월일 : 20111125 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111111 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 자외선 롤 나노임프린트 리소그래피용 투명 롤 몰드 제작 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 178,500 원 | 2011년 11월 16일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2014년 08월 25일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2015년 10월 30일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2016년 09월 28일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 282,800 원 | 2017년 10월 30일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 202,000 원 | 2018년 10월 25일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 202,000 원 | 2019년 10월 17일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0353809-36 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5149278-93 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.04.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2011.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0042910-22 |
5 | 의견제출통지서 | 2011.05.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0278641-51 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0572437-15 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.07.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0572468-20 |
8 | 등록결정서 | 2011.11.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0661831-14 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5018243-16 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.04.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5049934-62 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5210941-09 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345161991 |
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세부과제번호 | 과C6A2001 |
연구과제명 | 첨단부품소재사업단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 고려대학교 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345119776 |
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세부과제번호 | 2008-2004501 |
연구과제명 | 나노 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 고성능 나노섬 구조 TFT 제작 기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 고려대학교 산학협력단 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200806~201105 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415091570 |
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세부과제번호 | 2008-E-AP-HM-P-09-0000 |
연구과제명 | 나노패터닝기술을이용한고효율LED소자기술인력양성 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
연구주관기관명 | 고려대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200808~201107 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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