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롤 스탬프의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015132222
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 롤 스탬프의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 스탬프의 제조방법은 (a) 원통형 롤(100)의 표면 상에 물질층(200)을 형성하는 단계; (b) 물질층(200) 상에 금속층(300)을 형성하는 단계; (c) 금속층(300)을 양극 산화시켜 마스크층(310)을 형성하는 단계; 및 (d) 마스크층(310)을 마스크로 이용하여 물질층(200)을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100075965 (2010.08.06)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1103484-0000 (2011.12.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌 대한민국 서울특별시 서초구
2 한강수 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0508416-98
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0053523-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0423946-39
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0758885-63
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0758939-30
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0758032-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 원통형 롤의 표면 상에 건식 또는 습식 식각이 가능한 소정의 물질로 구성되는 물질층을 형성하는 단계;(b) 상기 물질층 상에 금속층을 형성하는 단계;(c) 상기 금속층을 양극 산화시켜 마스크층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 마스크층을 마스크로 이용하여 상기 물질층을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 원통형 롤은 절연체로 구성되는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 금속층은 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 금속층의 양극 산화를 반복적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 금속층의 인가되는 전압 또는 상기 금속층을 양극 산화시키는 시간 중 적어도 하나를 조절하여 상기 마스크층의 패턴의 형상 또는 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 제조방법
6 6
원통형 롤의 표면 상에 건식 또는 습식 식각이 가능한 소정의 물질로 구성되는 물질층 및 금속층을 순차적으로 형성하고, 상기 금속층을 양극 산화시켜 형성된 마스크층을 마스크로 이용하여 상기 물질층을 식각함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 고려대학교 산학협력단 산학연공동기술개발사업 고발전효율 양면수광형 솔라셀 집광시스템 제작
2 한국산업기술재단 고려대학교 산학협력단 전략기술인력양성사업 고효율 초박형 저가 태양광 소자기술 인력양성 사업