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식각 종말점 검출 장치 및 식각 종말점 검출 방법

  • 기술번호 : KST2015133219
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 식각 종말점 검출 장치는 기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공정 공간 및 윈도우를 구비하는 공정 챔버, 상기 공정 공간에 존재하는 반응 가스를 플라즈마 화하는 전원 인가부, 상기 윈도우를 통하여 상기 챔버 내에서 상기 식각 공정 중 방사되는 광을 이용하여 제1 예비 식각 종말점을 검출하는 발광 분광계, 상기 챔버 내의 임피던스를 측정하여 제2 예비 식각 종말점을 검출하는 임피던스 분석계 및 상기 제1 예비 식각 종말점 및 상기 제2 예비 식각 종말점을 비교하여 식각 종말점을 결정하는 비교 분석계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자 1020120127265 (2012.11.12)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1358538-0000 (2014.01.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권광호 대한민국 대전광역시 유성구
2 손진영 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 함용현 대한민국 경기도 부천시 원미구
4 장한별 대한민국 대구광역시 달서구
5 강성칠 대한민국 서울특별시 영등포구
6 천인우 대한민국 경기도 군포시 금산로 ** 래미안하이어스아파트 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 세종산학협력단 세종특별자치시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0926316-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0064362-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0621936-41
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0996350-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0996365-28
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0048791-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공정 공간 및 윈도우를 구비하는 공정 챔버;상기 공정 공간에 존재하는 반응 가스를 플라즈마 화하는 전원 인가부;상기 윈도우를 통하여 상기 챔버 내에서 상기 식각 공정 중 방사되는 광을 이용하여 제1 예비 식각 종말점을 검출하는 발광 분광계;상기 챔버 내의 임피던스를 측정하여 제2 예비 식각 종말점을 검출하는 임피던스 분석계; 및상기 제1 예비 식각 종말점 및 상기 제2 예비 식각 종말점을 비교하여 식각 종말점을 결정하는 비교 분석계를 포함하고, 상기 비교 분석계는,상기 제1 및 제2 예비 식각 종말점들을 비교하여 차이값을 확인하는 비교기; 상기 차이값을 이용하여 상기 제1 및 제2 예비 식각 종말점들의 신뢰도를 파악하는 분석기; 및상기 분석기로부터 전송받은 신뢰도를 이용하여 상기 식각 종말점을 결정하거나 상기 윈도우를 세정하도록 구비된 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 종말점 검출 장치
2 2
삭제
3 3
기판에 대한 플라즈마 식각 공정이 수행되는 공정 공간 및 윈도우를 구비하는 공정 챔버에 전원을 인가하여 상기 공정 공간 내에 존재하는 반응 가스를 플라즈마 화하는 단계;상기 윈도우를 통하여 상기 챔버 내에서 상기 식각 공정 중 방사되는 광을 이용하여 제1 예비 식각 종말점을 검출하는 단계;상기 챔버 내의 임피던스를 측정하여 제2 예비 식각 종말점을 검출하는 단계; 및상기 제1 예비 식각 종말점 및 상기 제2 예비 식각 종말점을 비교하여 상기 제1 예비 식각 종말점의 신뢰도를 분석하는 단계를 포함하고,상기 제1 예비 식각 종말점을 검출하는 단계는 상기 광의 파장을 분석하는 광파장의 변화를 감지하는 것을 특징으로 하고, 상기 제2 예비 식각 종말점을 검출하는 단계는 상기 챔버 내의 임피던스를 센싱하는 것을 특징으로 하는 식각 종말점 검출 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 제1 예비 식각 종말점의 신뢰값를 분석하는 단계는,상기 제1 및 제2 예비 식각 종말점을 비교하여 차이값을 확인하는 단계; 상기 차이값을 이용하여 상기 제1 예비 식각 종말점의 신뢰도를 파악하는 단계; 및상기 신뢰도가 기준값 미만일 경우 상기 윈도우를 세정하도록 세정 신호를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 종말점 검출 방법
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.