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투명 전극 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015133489
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인가되는 전계에 의해서 저항상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되는 투명 재질의 저항 변화 물질로 투명 전극을 형성하고, 투명 전극에 전압을 인가하여 투명 전극의 저항상태를 저저항 상태로 변화시키는 포밍(forming) 공정을 수행하여 투명 전극이 전도성을 갖도록 함으로써, 투명 전극의 하부 또는 상부에 형성되는 반도체층과 양호한 오믹 특성을 나타내면서도, 가시광 영역뿐만 아니라 단파장의 자외선 영역의 빛에 대해서도 높은 투과도를 나타내는 투명 전극을 형성할 수 있다. 특히, 본 발명은 저항 변화 물질로 형성되는 투명 전극 내부에 나노 파티클 등을 포함시켜 전계를 집중시킴으로써 보다 낮은 전압으로 용이하게 포밍을 수행할 수 있고, 동일한 포밍 전압을 적용하는 경우에는 보다 두껍게 투명 전극을 형성하여 투명 전극의 강도 및 소자의 안전성을 강화시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 저항 변화 물질로 형성되는 투명 전극층을 복수로 적층하여 투명 전극을 형성함으로써 투명 전극의 두께를 두껍게 형성하여, 투명 전극의 강도 및 소자의 안전성을 강화시킬 수 있다. 특히, 복수의 투명 전극층 중 일부를 포밍이 잘되는 물질로 형성함으로써, 투명 전극의 두께를 두껍게 하면서도 포밍 전압을 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 복수의 투명 전극층을 적층하여 투명 전극을 형성할 때, 상부로 갈수록 외부 공기층과의 굴절율 차이가 감소되도록 복수의 투명 전극층을 적층함으로써, 반도체층에서 발생되는 빛이 전반사되는 것을 방지하여 광 추출 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 반도체층 위에, 투명 전극 위에 형성되는 전극 패드 패턴에 대응되는 패턴으로 투명 전도층을 형성함으로써 광추출 효율을 저하를 최소화하면서도 포밍을 용이하게 하여, 투명 전극의 두께를 두껍게 형성할 수 있고, 따라서 투명 전극의 강도 및 소자 안전성을 강화시킬 수 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/022466(2013.01)
출원번호/일자 1020130114917 (2013.09.27)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1505512-0000 (2015.03.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.27)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태근 대한민국 경기 성남시 분당구
2 이병룡 대한민국 서울 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인주원 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0876464-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0036582-67
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0735123-79
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1271648-53
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1271646-62
9 등록결정서
Decision to grant
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0142440-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 방출하는 반도체층의 상부 또는 하부에 상기 반도체층과 접촉되도록 형성되고, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질로 형성된 투명 전극층; 및상기 투명 전극층 내부에 형성되어 포밍 전압을 감소시키기 위한 전계 집중층 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전계 집중층 패턴은 상기 투명 전극층 중간에 형성되고, 나노 파티클, 나노 와이어, 및 전도성 폴리머 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 전극
3 3
제 1 항에 있어서,상기 전계 집중층 패턴은 상기 투명 전극층과 상기 반도체층과의 경계면에 형성되고, 나노 파티클, 나노 와이어, 및 전도성 폴리머 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 전극
4 4
제 2 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전계 집중층 패턴은, 상기 투명 전극의 상부에 형성되는 전극 패드 패턴과 대응되는 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 전극
5 5
광을 방출하는 반도체층 위에 형성된 투명 전극으로서, 상기 투명 전극은 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질로 형성되고, 그 내부에 전도성 필라멘트가 형성된 복수의 투명 전극층들을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 복수의 투명 전극층들 중 적어도 2개의 층은 서로 다른 밴드 갭을 갖는 저항 변화 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 투명 전극
7 7
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 복수의 투명 전극층들은 상부로 갈수록 공기와의 굴절율 차이가 감소하도록 배치된 것을 특징으로 하는 투명 전극
8 8
광을 방출하는 반도체층 위에 형성된 투명 전극으로서,물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질로 형성된 투명 전극층; 및상기 투명 전극층과 상기 반도체층 사이에 형성되고, 상기 투명 전극층보다 밴드 갭이 작아 전도도가 더 높은 투명 전도층 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 투명 전도층 패턴의 일부 영역이 외부로 드러나도록 형성된 것을 특징으로 하는 투명 전극
10 10
제 8 항에 있어서,상기 투명 전도층 패턴과 상기 반도체층 사이에, 전도성 필라멘트가 형성된 상기 저항 변화 물질로 형성된 투명 전극층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극
11 11
투명 전극을 형성하는 방법으로서, (a1) 광을 방출하는 반도체층의 상부에, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되면 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질을 이용하여 하부 투명 전극층을 형성하는 단계;(a2) 상기 하부 투명 전극층 위에 전계 집중층 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 전계 집중층 패턴 및 상기 하부 투명 전극층 위에 상기 저항 변화 물질을 이용하여 상부 투명 전극층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 상부 투명 전극층에 포밍 전압을 인가하여 투명 전극층들 내부에 전도성 필라멘트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
12 12
투명 전극을 형성하는 방법으로서, (a2) 광을 방출하는 반도체층 위에 전계 집중층 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 전계 집중층 패턴 및 상기 반도체층 위에, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되면 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질을 이용하여 투명 전극층을 형성하는 단계; 및(c) 상기 투명 전극층에 포밍 전압을 인가하여 투명 전극층 내부에 전도성 필라멘트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
13 13
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 (a2) 단계는, 나노 파티클, 나노 와이어, 및 전도성 폴리머 중 어느 하나를 이용하여 상기 전계 집중층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
14 14
(a) 광을 방출하는 반도체층의 상부에, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질로 복수의 투명 전극층을 형성하는 단계; 및(b) 상기 복수의 투명 전극층에 포밍 전압을 인가하여, 그 내부에 전도성 필라멘트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
15 15
(a) 광을 방출하는 반도체층의 상부에, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내며, 상기 반도체층으로부터 유입되는 광을 투과시킬 수 있는 투명한 재질의 저항 변화 물질로 투명 전극층을 형성하는 단계; (b) 상기 투명 전극층에 포밍 전압을 인가하여 상기 투명 전극층에 전도성 필라멘트를 형성하여, 저항 상태를 저저항 상태로 변화시키는 단계; 및(c) 상기 (a) 단계 및 (b) 단계를 적어도 1회 이상 순차적으로 반복수행하여 내부에 전도성 필라멘트가 형성된 투명 전극층을 추가로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
16 16
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서, 상기 투명 전극에 포함된 복수의 투명 전극층 중 적어도 2개의 층은 서로 다른 밴드 갭을 갖는 저항 변화 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
17 17
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서, 상기 복수의 투명 전극층들은 상부로 갈수록 공기와의 굴절율 차이가 감소하도록 배치된 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
18 18
(a) 광을 방출하는 반도체층 위에 투명 전극층보다 밴드 갭이 작아 전도도가 더 높은 투명 전도층 패턴을 형성하는 단계;(b) 상기 반도체층 및 상기 투명 전도층 패턴 위에, 물질에 고유한 임계 전압 이상의 전압(포밍 전압)이 인가되어 내부에 전도성 필라멘트가 형성됨으로써, 그 저항 상태가 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되어, 상기 반도체층과 오믹 특성을 나타내는 저항 변화 물질로 상기 반도체층에서 방출된 광을 투과시키는 투명 전극층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 투명 전도층 패턴과 상기 투명 전극층 사이에 전압을 인가하여 상기 투명 전극층 내부에 전도성 필라멘트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 (b) 단계는, 상기 투명 전도층 패턴의 일부 영역이 외부로 드러나도록 상기 투명 전극층을 형성하고, 상기 (d) 단계는, 외부로 드러난 상기 투명 전도층 패턴의 일부 영역과 상기 투명 전극층 사이에 전압을 인가하여 상기 투명 전극층 내부에 전도성 필라멘트를 형성하는 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
20 20
제 18 항에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 상기 투명 전도층 패턴은 전도성 필라멘트가 내부에 형성된 상기 저항 변화 물질로 상기 반도체층 위에 형성된 하부 투명 전극층 위에 형성된 것을 특징으로 하는 투명 전극 형성 방법
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1 WO2015046766 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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