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일면 상에 형성되는 챔버 커버 개방구를 통하여 내측을 향하여 들어가고 윈도우를 구비하는 인워드 수용부를 구비하는 챔버;상기 챔버 내에 배치되는 베이스;상기 베이스 상에 배치되고 전압 검출을 위한 소자가 배치되고 상기 소자의 전압 신호 검측 가능한 플랫폼 터미널이 배치되는 플랫폼;일단이 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 플랫폼 터미널과 접속 가능한 프로브 팁을 구비하는 프로브 유닛;상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 소자의 전압 신호를 검출 가능하도록 상기 소자에 열 제공 가능한 히트 소스;적어도 일부가 상기 인워드 수용부에 배치되어 상기 히트 소소로부터 제공되는 열에 의한 반응으로 발생하는 상기 소자에 대한 열 영상을 상기 윈도우를 통하여 취득 가능한 적외선 영상 감지부를 구비하고,상기 소자에 대한 열 영상과 상기 소자의 전압 신호를 실시간 동기화되는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 1항에 있어서, 상기 윈도우는 적외선 투과를 가능하게 하는 Ge 윈도우인 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 1항에 있어서, 상기 플랫폼은 상기 베이스 상에 배치되고 상기 플랫폼 터미널이 배치되는 플랫폼 플레이트를 구비하고,상기 플랫폼 터미널은:상기 플랫폼 플레이트의 일면 상에 쌍을 이루며 서로 대향 배치되고, 사이에 상기 소자가 배치 가능한 플랫폼 터미널 라인과,상기 플랫폼 터미널 라인의 단부에 배치되고 상기 프로브 팁이 접촉 가능한 플랫폼 터미널 팁을 구비하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 3항에 있어서, 상기 히트 소스는 상기 플랫폼 상에 배치되는 주울 히터이고,상기 히트 소스는:상기 플랫폼 플레이트의 일면 상으로 상기 소자가 배치 가능한 플랫폼 터미널 라인의 외측에 배치되는 히터 라인과, 상기 히터 라인의 단부에 배치되고 히팅 전기적 신호 입력 가능한 히터 팁을 구비하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 4항에 있어서, 상기 히트 소스는 상기 터미널 라인을 중심으로 대향하여 쌍을 이루어 배치되고 개별적인 열 출력 가능한 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 1항에 있어서, 상기 소자에 대한 상기 열 영상 및 상기 전압 신호를 저장 제어 신호에 따라 저장하고 열 영상에 대한 온도 상태를 파악 가능하게 하는 사전 저장 온도 기준 데이터를 저장하는 저장부와,상기 저장부에 저장되는 상기 소자에 대한 상기 열 영상 및 상기 전압 신호를 실시간 동기화시키고 상기 열 영상 및 상기 사전 저장 온도 기준 데이터에 기초하여 상기 소자의 양단 측에 대한 열 온도 차이를 산출하는 제어부와,상기 소자의 양단 측에 대한 열 온도 차이 및 상기 전압 신호를 이용하여 상기 제어부의 연산 제어 신호에 따라 상기 소자 특성을 산출하는 연산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 1항에 있어서,상기 인워드 수용부는:상기 챔버 커버 개방구에 위치 고정 장착되는 인워드 수용 바디(131,133)와,상기 인워드 수용 바디와 이격되어 상기 챔버 내부를 향하여 가동 가능하고 상기 윈도우가 형성되는 인워드 수용 플레이트와, 일단은 상기 인워드 수용 바디에, 그리고 타단은 상기 인워드 수용 플레이트에 연결되고 상기 인워드 수용 플레이트의 위치에 따라 접철 가능한 인워드 수용 벨로우즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 7항에 있어서, 상기 인워드 수용 바디를 관통하여 단부가 상기 인워드 수용 플레이트에 연결되고, 상기 챔버의 외부에 배치되는 다른 단부를 통하여 길이 조정되어 상기 인워드 수용 플레이트의 위치를 조정하는 수용부 가이드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 1항에 있어서,상기 영상 감지부는, 상기 윈도우를 통하여 상기 소자의 열 영상을 취득 감지하는 영상 감지 센서와, 상기 영상 감지 센서를 상기 챔버 외측에 위치 유지시키는 영상 감지 홀딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 9항에 있어서,상기 영상 감지 홀딩부는:상기 영상 감지 센서의 단부에 연결 배치되는 감지 홀더와,상기 감지 홀더의 단부에서 외측 반경 방향으로 연장 형성되는 감지 홀더 어라운드와,상기 감지 홀더 어라운드의 외측에 배치되어 상기 감지 홀더 어라운드와의 길이 방향 상대 변위 형성이 가능한 감지 홀더 하우징을 구비하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 10항에 있어서, 상기 감지 홀더 어라운드의 외주에는 홀더 어라운드 가이드가 구비되고,상기 감지 홀더 하우징의 내주에는 상기 어라운드 가이드와 상대 가동 가능하게 맞물리는 홀더 하우징 가이드가 구비되는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 10항에 있어서,상기 감지 홀더 어라운드에는 홀더 어라운드 관통구가 구비되고, 상기 감지 홀더 하우징에는 상기 영상 감지 센서의 가동 방향을 길이 방향으로 상기 홀더 어라운드 관통구에 관통 배치되는 홀더 하우징 샤프트가 구비되는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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제 10항에 있어서, 상기 영상 감지부는 영상 감지 홀딩부를 가동시켜, 상기 감지 홀더에 상기 영상 감지 센서의 위치를 이동시키는 구동력을 제공하는 영상 감지 구동부를 구비하고, 상기 영상 감지 구동부는:상기 영상 감지 센서의 위치를 이동시키는 구동력을 생성하는 감지 구동기와, 일단은 상기 감지 구동기에 연결되고 타단은 상기 감지 홀더에 연결되어, 상기 감지 구동기에서 생성된 구동력을 상기 감지 홀더로 전달하는 감지 구동 전달부를 구비하는 것을 특징으로 하는 소자 열 및 전기 특성 동시 측정 프로브 스테이션 장치
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