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자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015140635
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마를 발생하는 챔버; 상기 챔버의 외측에 일정 간격으로 다수개 설치되며, 입출력이 상기 챔버와 연통되도록 루프를 형성하는 다수개의 루프관; 상기 루프관과 상기 챔버의 경계에서 상기 각 루프관을 완전하게 둘러싸는 자성코어; 및 상기 각 루프를 통하여 흐르는 전기장을 유도하는 자기장을 생성하도록 상기 자성코어 전체에 직렬로 권취되는 안테나를 포함하는 유도결합 플라즈마 발생장치에 관한 것이다. 루프관, 유도결합 플라즈마 발생장치, 자성코어, 고투자율
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01) H01Q 1/52 (2018.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01)
CPC H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01)
출원번호/일자 1020050030220 (2005.04.12)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0742659-0000 (2007.07.19)
공개번호/일자 10-2006-0108089 (2006.10.17) 문서열기
공고번호/일자 (20070725) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진욱 대한민국 서울 성동구
2 이원기 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)
2 정현영 대한민국 서울특별시 금천구 벚꽃로 ***, ****호-** (가산동, 대륭포스트타워*차)(정특허법률사무소)
3 임평섭 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로 ***-*, *층(당산동*가, 정우빌딩)(임특허법률사무소)
4 홍승규 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 뉴파워프라즈마 경기도 수원시 권선구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0189211-23
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2005.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2005-0241929-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0037297-51
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0563580-10
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0864862-60
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0949032-18
8 의견서
Written Opinion
2006.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0949028-24
9 등록결정서
Decision to grant
2007.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0217226-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마를 발생하는 챔버;상기 챔버의 외측에 일정 간격으로 다수개 설치되며, 입출력이 상기 챔버와 연통되도록 루프를 형성하는 다수개의 루프관;상기 루프관과 상기 챔버의 경계에서 상기 각 루프관을 완전하게 둘러싸는 자성코어; 및 상기 각 루프를 통하여 흐르는 전기장을 유도하는 자기장을 생성하도록 상기 자성코어 전체에 직렬로 권취되는 안테나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 루프관은 상기 챔버의 측면 외부에서 원주방향으로 일정 간격 이격되어 다수개 배열되는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 루프관은 상기 챔버의 높이 방향으로 일정 간격 이격되어 다수개 배열되는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 루프관은 상기 챔버의 상부에 균일한 밀도로 다수개 배열되는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 자성코어는 상기 루프관과 상기 챔버의 경계마다 상기 루프관을 둘러싸며, 상기 안테나는 인접한 루프관을 각각 둘러싸는 인접한 자성코어를 함께 권취하는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
6 6
플라즈마를 발생하는 챔버;상기 챔버로부터 일정거리 이격되어 상기 챔버를 둘러싸는 루프관;상기 루프관과 상기 챔버가 연통되도록 상기 루프관과 챔버 사이를 따라 일정한 간격으로 배열되는 다수개의 브리지; 상기 각 브리지를 완전하게 둘러싸는 자성코어; 및 상기 브리지와 루프관을 통하여 흐르는 전기장을 유도하는 자기장을 생성하도록 상기 자성코어 전체에 직렬로 권취되는 안테나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 루프관과 이에 대응하는 브리지들은 상기 챔버의 높이 방향을 따라 다수개 배열되는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 배열된 루프관은 상기 높이 방향에서 전체로 통합되는 것을 특징으로 하는 자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.