| 1 |
1
입사광에 수직인 방향의 광축을 가지며 상기 입사광을 서로 수직인 두 편광으로 분리하는 제1 프리즘;상기 제1 프리즘에 인접하여 배치되고 복굴절이 없으며 상기 제1 프리즘에 의하여 굴절된 상기 두 편광 중 어느 하나의 광 경로를 상기 입사광의 광 경로와 평행하게 되돌리는 제2 프리즘; 및상기 제2 프리즘에 인접하여 배치되며 상기 제2 프리즘에 의하여 평행해진 상기 편광의 광 경로를 상기 입사광의 광 경로와 일치시키는 두 개의 평면거울;을 포함하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 프리즘은 불화마그네슘 프리즘인 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제2 프리즘은 불화칼슘 프리즘인 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 평면거울은 불화마그네슘으로 보호 코팅이 된 알루미늄 거울인 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘은 꼭지각이 서로 반대로 놓이도록 배치되는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 제1 프리즘은 상기 입사광이 브루스터각으로 입사되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 제1 프리즘과 상기 평면거울은 입사면의 각도가 동일하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 8 |
8
제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 제1 프리즘, 상기 제2 프리즘, 상기 평면거울이 내부에 설치되는 원통형 케이스;를 더 포함하며, 상기 원통형 케이스는 양쪽 측면에 각각 형성되는 빛의 입출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 입구 근처에 배치되어 상기 원통형 케이스의 내부로 질소 가스를 분사하는 질소 노즐;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 10 |
10
제8항에 있어서,상기 입출구를 각각 봉하는 밀폐창;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 원통형 케이스는 상기 원통형 케이스의 내부에 질소 가스를 주입하거나 상기 원통형 케이스 내부를 진공펌프로 배기하기 위하여 형성되는 기체 출입구를 구비하는 것을 특징으로 하는 고출력 진공 자외선용 편광기
|
