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미세회로 패턴 제조용 조성물, 이를 이용한 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법 및 이에 의해 제조된 미세회로 패턴을 포함하는 센서

  • 기술번호 : KST2015141569
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산 반응 분해성 작용기(t-Boc)로 치환된 폴리아닐린 고분자와 양친성 작용기가 치환된 다이아세틸렌 단량체를 포함하는 미세회로 패턴 제조용 조성물, 이 조성물을 사용하여 자발배향을 유도한 다음 광중합 반응을 통해 마이크론 단위의 전도성 및 감광성 미세패턴을 제조하는 방법과 이에 의해 제조된 미세회로 패턴을 포함하는 다기능 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 폴리아닐린의 전도성 감소 없이 용이하게 미세회로 패턴을 제조할 수 있으며, 공정의 단순함과 편리함으로 인해 다양한 분야의 산업현장 및 미세전자제어기술(MEMES) 분야에도 응용이 가능하다.
Int. CL G03F 7/025 (2006.01) C08L 79/00 (2006.01) G03F 7/26 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)
CPC G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01) G03F 7/025(2013.01)
출원번호/일자 1020120094231 (2012.08.28)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1341340-0000 (2013.12.09)
공개번호/일자 10-2013-0135699 (2013.12.11) 문서열기
공고번호/일자 (20131220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020120057907   |   2012.05.31
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.28)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종만 대한민국 서울 강동구
2 이찬우 대한민국 서울 강남구
3 어경찬 대한민국 경기 부천시 원미구
4 이주섭 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0691988-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0085646-94
4 등록결정서
Decision to grant
2013.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0766663-93
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 N-tert-부톡시카르보닐(t-Boc) 치환된 폴리아닐린과 하기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체를 포함하는 미세회로 패턴 제조용 조성물:[화학식 1]상기 화학식에서, 0003c#x003c#1, 0003c#y003c#1, x+y=1이고, n은 20 내지 300 의 정수이다
2 2
제1항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체는 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 미세회로 패턴 제조용 조성물
3 3
제1항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체는 하기 화학식 4로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 미세회로 패턴 제조용 조성물
4 4
제1항에 있어서, 상기 조성물은 t-Boc 치환된 폴리아닐린의 반복 단위인 4개의 아닐린 1 당량 기준으로 다이아세틸렌 단량체 2 당량을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세회로 패턴 제조용 조성물
5 5
(S1) 하기 화학식 1로 표시되는 N-tert-부톡시카르보닐(t-Boc) 치환된 폴리아닐린을 유기용매에 용해시킨 용액과 하기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체를 유기용매에 용해시킨 용액을 혼합하고 초음파 처리하여 균일 혼합 용액을 제조하는 단계;(S2) 상기 균일 혼합 용액을 기재 상에 코팅하여 박막을 형성하는 단계; (S3) 상기 박막에 포토마스크를 올린 후 자외선 노광하여 폴리다이아세틸렌-t-Boc 치환된 폴리아닐린 나노복합체 패턴을 형성하는 단계; 및(S4) 무기산 및 유기산으로 처리하여 폴리다이아세틸렌-폴리아닐린 나노복합체 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체는 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 다이아세틸렌 단량체는 하기 화학식 4로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
8 8
제5항에 있어서,S1 단계에서, 상기 유기용매는 테트라하이드로퓨란 또는 클로로포름인 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
9 9
제5항에 있어서, S1 단계에서, 균일 혼합 용액은 t-Boc 폴리아닐린의 반복 단위인 4개의 아닐린 1 당량 기준으로 다이아세틸렌 단량체 2 당량을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
10 10
제5항에 있어서, S2 단계에서, 스핀 코팅법 또는 닥터 블레이드 법으로 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
11 11
제5항에 있어서, S3 단계에서, 자외선 노광은 220~300 ㎚의 자외선을 10분 내지 20분간 조사하여 수행하는 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
12 12
제11항에 있어서, S3 단계에서, 자외선 노광은 254 ㎚의 자외선을 10분 내지 20분간 조사하여 수행하는 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
13 13
제5항에 있어서, S4 단계에서, 유기산은 캄포술폰산, 도데실벤젠술폰산 및 트리플루오르아세트산 중 선택된 것임을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
14 14
제4항에 있어서, S4 단계에서, 유기산은 t-Boc 폴리아닐린의 반복 단위인 4개의 아닐린 1 당량 기준으로 2 당량으로 사용되는 것을 특징으로 하는 전도성 및 감광성 미세회로 패턴의 제조방법
15 15
폴리다이아세틸렌/t-boc 치환된 폴리아닐린 나노복합체를 이용하여 형성된 전도성 및 감광성 미세회로 패턴을 포함하는 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한양대학교 산학협력단 국제협력사업(글로벌R) 한양대 - RIKEN 공동연구센터 지원