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타원해석기 및 타원해석방법

  • 기술번호 : KST2015142206
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 타원해석기 및 타원해석방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시편에 보호커버가 덮여있는 상태에서도 시편의 표면 특성을 측정할 수 있는 타원해석기 및 타원해석방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 타원해석기는 보호커버를 포함하는 시편을 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사부와, 편광조사부에서 조사된 후 시편의 표면에서 반사된 광이 입사되며, 반사된 광을 분석하는 편광분석부와, 광의 진행경로 상에 배치되며, 광이 보호커버를 투과하는 과정 중 발생되는 광의 편광상태의 변화가 보상되도록 상기 광을 편광시키는 편광보상부를 포함한다. 타원해석, 편광, 편광보상
Int. CL G01J 4/04 (2006.01.01) G01J 3/02 (2006.01.01) G01N 21/21 (2006.01.01)
CPC G01J 4/04(2013.01) G01J 4/04(2013.01) G01J 4/04(2013.01)
출원번호/일자 1020080052140 (2008.06.03)
출원인 한양대학교 산학협력단, 주식회사 나노-뷰
등록번호/일자 10-0981988-0000 (2010.09.07)
공개번호/일자 10-2009-0126008 (2009.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20100913) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.03)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 주식회사 나노-뷰 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기 안산시 상록구
2 이상육 대한민국 경북 경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 주식회사 나노-뷰 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0398252-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0047315-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0089246-17
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0273017-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0273001-19
7 등록결정서
Decision to grant
2010.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0370246-21
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5159769-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2013-5005037-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5053439-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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보호커버를 포함하는 시편을 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사부; 상기 편광조사부에서 조사된 후 상기 시편의 표면에서 반사된 광이 입사되며, 상기 반사된 광을 분석하는 편광분석부; 및 상기 광의 진행경로 상에 배치되며, 상기 광이 상기 보호커버를 투과하는 과정 중 발생되는 광의 편광상태의 변화가 보상되도록 상기 광을 편광시키는 편광보상부;를 포함하며, 상기 편광보상부는, 상기 광의 입사경로 상에 배치되며, 상기 시편으로 입사되는 광이 상기 보호커버를 투과하는 과정 중 발생되는 제1편광상태의 변화가 보상되도록, 상기 입사되는 광을 상기 제1편광상태 변화방향의 반대 방향으로 상기 제1편광상태의 변화량만큼 편광시키는 제1보상부재와, 상기 광의 반사경로 상에 배치되며, 상기 시편에서 반사된 후 상기 편광분석부로 입사되는 광이 상기 보호커버를 투과하는 과정 중 발생되는 제2편광상태의 변화가 보상되도록, 상기 보호커버를 투과한 광을 상기 제2편광상태 변화방향의 반대 방향으로 상기 제2편광상태의 변화량만큼 편광시키는 제2보상부재를 포함하며, 상기 제1보상부재 및 상기 제2보상부재는 상기 보호커버와 동일한 소재로 이루어지며, 상기 제1보상부재 및 상기 제2보상부재는 각각의 광축 방향이 상기 보호커버의 광축 방향과 직교하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 타원해석기
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 경기지방 중소기업청 한양대학교 산학협력단(안산) 2007산학연 공동기술개발 컨소업사업 노광공정 물질분석용 다중채널 원자외선 분광 타원해석기개발