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레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템 및 그 오차 보정 방법

  • 기술번호 : KST2015142830
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저광원, 빔스플릿터, 고정거울, 타겟거울 및 상기 타겟거울에 입사 또는 반사되는 레이저광 방향으로 상기 타겟거울을 왕복 이동시킬 수 있는 스테이지를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템에 있어서, 상기 스테이지는 타겟거울이 안착되고, 피에조구동기에 의해 상기 타겟거울을 이동시키며, 정전용량센서를 이용하여 상기 타겟거울의 위치변화를 측정하는 제1스테이지부와 상기 제1스테이지가 안착되고, 스텝모터에 의해 상기 제1스테이지와 독립적으로 상기 타겟거울을 이동시킬 수 있는 제2스테이지부를 포함하고, 상기 변위량 측정 시스템은 변위를 측정하기 전에 상기 제1,2스테이지를 제어하여 기준위치로부터 상기 타겟거울을 소정 거리만큼씩 이동시키면서 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서로 각각 변위를 측정하고, 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서가 측정한 값을 이용하여 보정상수를 구한 후 변위 측정시 레이져 간섭계가 측정한 값에 상기 보정상수를 적용하여 측정오차를 실시간으로 보정하는 컴퓨터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템 및 그 오차 보정방법은 실제 측정을 하기 이전에 레이저 간섭계가 측정한 값을 동일한 지점에서 상기 레이저 간섭계보다 분해능과 환경요인에 의한 영향이 작은 정전용량센서를 이용하여 측정한 값과 비교하여 보정상수를 구하고, 실제 측정시 레이저 간섭계가 측정한 값에 상기 보정상수를 곱하여 실시간 보정을 수행함으로써 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템의 코사인 오차 및 아베 오차 같은 선형적인 오차를 줄일 수 있다. 그 결과 본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템은 수백 밀리미터의 장거리의 변위를 나노미터 급의 정밀도를 가지고 측정할 수 있다는 장점이 있다.정전용량센서, 레이저 간섭계, 나노스테이지, 마이크로스테이지
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 9/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01B 7/02 (2006.01)
CPC G01B 9/02055(2013.01) G01B 9/02055(2013.01) G01B 9/02055(2013.01) G01B 9/02055(2013.01)
출원번호/일자 1020060052190 (2006.06.09)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0814638-0000 (2008.03.12)
공개번호/일자 10-2007-0117937 (2007.12.13) 문서열기
공고번호/일자 (20080318) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.09)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전재욱 대한민국 경기 수원시 장안구
2 김재천 대한민국 경기 수원시 장안구
3 서석현 대한민국 경기 수원시 장안구
4 박기헌 대한민국 경기 수원시 장안구
5 유관호 대한민국 경기 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0407264-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0011163-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0210475-79
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0393769-31
6 의견서
Written Opinion		 2007.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0393747-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2007.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0513552-60
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.11.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0816464-77
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0816457-57
11 등록결정서
Decision to grant		 2008.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0130237-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
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레이저광원, 빔스플릿터, 고정거울, 타겟거울 및 상기 타겟거울에 입사 또는 반사되는 레이저광 방향으로 상기 타겟거울을 왕복 이동시킬 수 있는 스테이지를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템에 있어서,상기 스테이지는 타겟거울이 안착되고, 피에조구동기에 의해 상기 타겟거울을 이동시키며, 정전용량센서를 이용하여 상기 타겟거울의 위치변화를 측정하는 제1스테이지;와 상기 제1스테이지가 안착되고, 스텝모터에 의해 상기 제1스테이지와 독립적으로 상기 타겟거울을 이동시킬 수 있는 제2스테이지를 포함하고,상기 변위량 측정 시스템은 변위를 측정하기 전에 상기 제1,2스테이지를 제어하여 기준위치로부터 상기 타겟거울을 소정 거리만큼씩 이동시키면서 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서로 각각 변위를 측정하고, 상기 각각의 이동 지점에서 레이저 간섭계와 정전용량센서가 측정한 값을 이용하여 보정상수를 구한 후 변위 측정시 레이져 간섭계가 측정한 값에 상기 보정상수를 적용하여 측정오차를 실시간으로 보정하는 컴퓨터를 더 포함하되,상기 컴퓨터는 상기 각각의 이동 지점에서 구한 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서의 측정값 오차비를 적어도 어느 하나의 지점에서 레이저 간섭계가 복수 회 측정한 값(Xl)에 곱한 후 상기 복수의 측정값(Xl)에 대응하여 정전용량센서가 측정한 값(Xc)과의 차이를 각각 구하고, 상기 각각의 차이의 절대값을 합산하여 그 값이 가장 작은 오차비를 보정상수로 설정하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템
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레이저광원, 빔스플릿터, 고정거울, 타겟거울 및 상기 타겟거울에 입사 또는 반사되는 레이저광 방향으로 상기 타겟거울을 왕복 이동시킬 수 있는 스테이지를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템의 오차 보정방법에 있어서,변위를 측정하기 전에 상기 타겟거울을 기준위치로 이동시킨 후 소정 거리 만큼씩 복수 회 이동시키면서 상기 각각의 이동 지점에서 레이저 간섭계와 상기 스테이지에 포함된 정전용량센서로 타겟거울의 위치 변화를 측정하는 제1단계; 상기 각각의 이동 지점에서 레이저 간섭계와 정전용량센서가 각각 측정한 값을 이용하여 보정상수를 구하는 제2단계; 및 상기 제2단계에서 구한 보정상수를 상기 레이져 간섭계가 실제 변위 측정시 측정한 값에 적용하여 그 측정오차를 실시간으로 보정하는 제3단계를 포함하되,상기 제2단계는 상기 각각의 이동 지점에서 구한 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서의 측정값 오차비를 적어도 어느 하나의 지점에서 레이저 간섭계가 복수 회 측정한 값(Xl)에 곱한 후 상기 복수의 측정값(Xl)에 대응하여 정전용량센서가 측정한 값(Xc)과의 차이를 각각 구하고, 상기 각각의 차이의 절대값을 합산하여 그 값이 가장 작은 오차비를 보정상수로 설정하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템의 오차 보정방법
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제6항에 있어서,상기 제1단계는 타겟거울을 기준위치에 배치한 후 소정 거리만큼 이동시키는 단계, 해당 이동 지점에서 레이저 간섭계와 정전용량센서를 이용하여 상기 타겟거울의 위치변화를 각각 복수 회 측정하는 단계, 상기 레이저 간섭계와 정전용량센서가 측정한 값을 각각 평균하는 단계, 상기 각각의 평균값을 이용하여 상기 이동 지점에서의 오차비를 구하는 단계 및 정해진 회수 동안 상기 단계들을 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템의 오차 보정방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.