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헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015143092
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 측정 대상물의 이동 거리를 측정하는 정전용량센서, 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 기준 신호와 측정 신호를 입력받아 그 세기를 측정하는 전처리부, 정전용량센서가 측정한 거리와 기준 신호와 측정 신호의 세기를 WLS 기법에 적용하여 WLS보상 파라미터를 획득하는 WLS 처리부 및 측정된 기준 신호와 측정 신호의 세기를 보상 파라미터에 적용하여 오차를 보정하는 오차 보정부를 포함하는 오차 보정 장치 및 그 방법을 제공함으로써 환경 변화에 대한 적응성을 갖는 오차 보정이 가능하고, 외부 환경에 대한 강인성을 확보할 수 있다. 이를 통해 수 나노미터 단위의 헤테로다인 레이저 간섭계의 정밀도 구현이 가능케 된다. 헤테로다인, 레이저, 간섭계, 오차 보정, WLS
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 7/14 (2011.01) G01B 9/02 (2011.01)
CPC G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01)
출원번호/일자 1020080135928 (2008.12.29)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0077861 (2010.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.29)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유관호 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 이우람 대한민국 경기도 안양시 동안구
3 허건행 대한민국 경기도 안성시
4 이상철 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동)
2 특허법인세하 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0900573-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.04.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0029846-13
4 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0360275-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0091698-67
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0370495-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치에 있어서, 측정 대상물의 거리를 측정하는 정전용량센서; 상기 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 기준 신호와 측정 신호를 입력받아 그 세기를 측정하는 전처리부; 상기 정전용량센서가 측정한 측정 대상물의 거리와 상기 전처리부가 측정한 기준 신호와 측정 신호의 세기를 WLS(Weighted Least Square) 기법에 적용하여 WLS 보상 파라미터를 획득하는 WLS 처리부; 및 상기 전처리부가 측정한 기준 신호와 측정 신호의 세기를 상기 WLS 보상 파라미터에 적용하여 오차를 보정하는 오차 보정부를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 정전용량 센서로부터 출력되는 측정 대상물의 거리를 이용하여 그에 따른 기본 신호의 세기를 연산하여 출력하는 CDS(Capacitive Displacement Sensor) 데이터 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 전처리부는, 상기 기준 신호를 소정의 각도만큼 위상 지연시키는 위상 지연부; 상기 기준 신호 또는 위상 지연된 기준 신호와 상기 측정 신호 간의 곱을 연산하는 곱셈기; 및 상기 기준 신호 또는 위상 지연된 기준 신호와 상기 측정 신호간의 곱에 대한 신호 중 저대역 신호를 패스시키는 저대역 통과 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 WLS 처리부는, 상기 측정 대상물의 거리와 상기 기준 신호와 측정 신호로부터 획득한 신호의 세기를 LS(Least Square) 알고리즘에 적용하여 오차 보정하는 LS 오차 보정 모듈; 상기 LS 알고리즘을 이용하여 오차 보정된 값과 상기 기준 신호와 측정 신호로부터 획득한 신호의 차이값을 이용하여 에러 행렬(Error Matrix) 또는 에러 공분산 행렬(Error Covariance Matrix) 중 적어도 하나를 획득하는 행렬 획득 모듈; 및 상기 에러 행렬 또는 에러 공분산 행렬을 이용하여 WLS(Weighted Least Square) 보상 파라미터를 획득하는 WLS 보상 파라미터 획득 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 LS 오차 보정 모듈은, 아래의 수학식으로부터 획득가능한 a, b, h 및 v로 표현되는 LS 보상 파라미터를 이용하여 오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 행렬 획득 모듈은, 아래의 수학식으로부터 에러 행렬을 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터 획득 모듈은, 아래 수학식을 이용하여 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
8 8
제6항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터 획득 모듈은, 아래 수학식을 이용하여 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터를 이용하여 오차 보정된 신호의 세기를 이용하여 측정 대상물의 거리를 연산하는 위상거리 변환부를 더 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
10 10
제9항에 있어서, 상기 위상거리 변환부는 아래 수학식을 이용하여 측정 대상물의 거리를 연산하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
11 11
헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법에 있어서, 정전용량센서는 측정 대상물의 거리를 측정하는 단계; 상기 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 기준 신호와 측정 신호를 입력받아 그 세기를 측정하는 전처리 단계; 상기 정전용량센서가 측정한 측정 대상물의 거리와 상기 기준 신호와 측정 신호의 세기를 WLS(Weighted Least Square) 기법에 적용하여 WLS 보상 파라미터를 획득하는 단계; 및 상기 전처리 단계에서 획득한 기준 신호와 측정 신호의 세기를 상기 WLS 보상 파라미터에 적용하여 오차를 보정하는 단계를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 정전용량센서로부터 출력되는 측정 대상물의 거리를 이용하여 그에 따른 기본 신호의 세기를 연산하여 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
13 13
제11항에 있어서, 상기 헤테로다인 레이저 간섭계로부터 기준 신호와 측정 신호를 입력받아 그 세기를 측정하는 단계는, 상기 기준 신호를 소정의 각도만큼 위상 지연시키는 위상 지연 단계; 상기 기준 신호 또는 위상 지연된 기준 신호와 상기 측정 신호 간의 곱을 연산하는 단계; 및 상기 기준 신호 또는 위상 지연된 기준 신호와 상기 측정 신호 간의 곱에 대한 신호 중 저대역 신호를 패스시키는 단계를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
14 14
제11항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 단계는, 상기 측정 대상물의 거리와 상기 기준 신호와 측정 신호로부터 획득한 신호의 세기를 LS(Least Square) 알고리즘에 적용하여 오차를 보정하는 단계; 상기 LS 알고리즘을 이용하여 오차 보정된 값과 상기 기준 신호와 측정 신호로부터 획득한 신호의 차이값을 연산하여 에러 행렬(Error Matrix) 또는 에러 공분산 행렬(Error Covariance Matrix) 중 적어도 하나를 획득하는 단계; 및 상기 에러 행렬 또는 에러 공분산 행렬을 이용하여 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 LS 알고리즘을 적용하여 오차를 보정하는 단계는, 아래의 수학식으로부터 획득가능한 a, b, h 및 v로 표현되는 LS 보상 파라미터를 이용하여 오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 에러 행렬 획득 단계는, 아래의 수학식으로부터 에러 행렬을 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
17 17
제16항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 단계는, 아래 수학식을 이용하여 WLS 보상 파라미터를 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
18 18
제16항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터를 획득하는 단계는, 아래의 수학식을 이용하여 WLS 보상 파라미터를 획득하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
19 19
제11항에 있어서, 상기 WLS 보상 파라미터를 이용하여 오차 보정된 신호의 세기를 이용하여 측정 대상물의 거리를 연산하는 위상거리 변환 단계를 더 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
20 20
제19항에 있어서, 상기 위상거리 변환 단계는, 아래 수학식을 이용하여 측정 대상물의 거리를 연산하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육인적자원부 성균관대학교 산학협력단 신진교수연구과제 하이브리드 데이터 기반의 적응형 최적화 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계 측정 정밀도 향상