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산화아연 박막을 과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지시킨 후 유지시키는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화아연 박막은 기판 상에 증착된 후, 과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지되는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 2에 있어서,상기 산화아연 박막은 기판 상에 900∼1100 nm의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 3에 있어서,상기 산화아연 박막은 알루미늄이 도핑된 산화아연 박막인 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 1에 있어서,상기 과산화수소 및 초순수의 혼합용액은 과산화수소 : 초순수가 2:8 내지 4:6 부피비로 혼합되도록 제조되는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 1에 있어서,상기 과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지된 산화아연 박막은 상기 용액 내에서 20∼40분 동안 유지되는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화아연 박막을 25∼40℃의 과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지시킨 후 유지시키는 것을 특징으로 하는, 산화아연 박막의 전기적 및 광학적 물성 향상방법
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과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지되어 처리됨으로써 비저항, 투과율 및 광학적 밴드갭 에너지가 향상된 산화아연 박막
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청구항 8에 있어서,상기 과산화수소 및 초순수의 혼합용액은 과산화수소 : 초순수가 2:8 내지 4:6 부피비로 혼합되도록 제조된 것임을 특징으로 하는, 산화아연 박막
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청구항 8에 있어서,상기 비저항은 9
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과산화수소 및 초순수의 혼합용액에 침지되어 처리됨으로써 비저항, 투과율 및 광학적 밴드갭 에너지가 향상된 산화아연 박막을 투명 전도막으로 포함하는 태양전지
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