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금속 칼코게나이드 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015143526
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 칼코게나이드 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 금속 칼코게나이드 박막의 제조방법은 기판 상에 금속층을 형성하는 금속층 형성단계; 저온 기상 증착용 챔버 내에 상기 기판을 투입하고, 상기 챔버 내에서 칼코겐 원자-함유 기체와 아르곤 가스를 주입한 후, 플라스마를 발생시켜 상기 플라스마에 의해 분해된 칼코겐 원자가 상기 금속층을 구성하는 금속 원자와 화학적으로 결합되어 금속 칼코게나이드 박막으로 형성되도록 하는 금속 칼코게나이드 박막 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 저온 기상 증착 방법(PECVD)을 이용하여 해당 기판에 in-situ방식으로 플라스틱 등의 낮은 용융점을 가지는 기판에 직접 금속 칼코게나이드 박막을 형성할 수 있고, 이를 통해 별도의 건조공정이 불필요하고, 별도의 전사공정을 거치지 않아도 박막 형성이 가능하여 전기적/물리적 특성을 극대화하고, 높은 균일도와 신뢰도를 담보할 수 있는 금속 칼코게나이드 박막 및 그 제조방법이 제공된다.
Int. CL C23C 28/00 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
CPC C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01)
출원번호/일자 1020130152849 (2013.12.10)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1529788-0000 (2015.06.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150629) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.10)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태성 대한민국 서울 강남구
2 안치성 대한민국 경기 수원시 권선구
3 이창구 대한민국 서울 성동구
4 김형우 대한민국 경기 안산시 단원구
5 이진환 대한민국 경기 성남시 중원구
6 그리쉬 아라베일 인도 대한민국 경기도 수원시 장안

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-1128003-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0005860-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0033460-19
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0252425-00
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0371948-79
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0371982-11
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0302438-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법에 있어서,기판 상에 몰리브덴층을 형성하는 몰리브덴층 형성단계;기상 증착용 챔버 내에 상기 기판을 투입하고, 상기 챔버 내에서 칼코겐 원자-함유 기체와 아르곤 가스를 주입한 후, 플라스마를 발생시켜 상기 플라스마에 의해 분해된 칼코겐 원자가 상기 몰리브덴층을 구성하는 몰리브덴 원자와 화학적으로 결합되어 몰리브데늄 칼코게나이드 박막으로 형성되도록 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막 형성단계;를 포함하고, 상기 챔버의 내부 온도는 150℃ 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 기판을 챔버로 투입한 후 상기 박막 형성단계 이전에 플라스마 상태의 수소를 상기 챔버 내부로 주입하여 상기 기판의 표면에 형성된 산화막을 제거하는 산화막 제거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 산화막 제거단계 이전에 아르곤 가스를 더 주입하여 상기 챔버 내부의 공기 중 이물질을 제거하는 이물질 제거 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 몰리브데늄 칼코게나이드 박막은 적어도 하나의 레이어로 구성된 판상 구조인 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 레이어는 개별적으로 박리가 가능한 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 레이어의 두께는 상기 챔버의 내부로 투입되는 상기 칼코겐 원자-함유 기체의 유량 조절 또는 상기 챔버의 내부 온도 제어 또는 상기 몰리브덴층의 두께에 따라 조절가능한 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서,상기 몰리브덴층은 스퍼터링 방법, 전자빔 증착(E-beam evaporator) 방법, 열증착(thermal evaporation) 방법, 이온클러스터빔(ion cluster beam), 펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition; PLD) 방법 중 적어도 하나를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
9 9
제 1항에 있어서,상기 몰리브덴층은 상기 기판을 습식 또는 건식 공정을 통해 산화시킨 후 형성하는 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
제 1항에 있어서,상기 칼코겐 원자-함유 기체는 S2, Se2, Te2, H2S, H2Se 또는 H2Te 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
13 13
제 1항에 있어서,상기 기판은 Si, SiO2, Ge, GaN, AlN, GaP, InP, GaAs, SiC, Al2O3, LiAlO3, MgO, 유리, 석영, 사파이어, 그래파이트, 그래핀, PEN(poly ethylene naphthalate) 또는 PET(poly ethylene terephthalate) 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막의 제조방법
14 14
제 1항 내지 제 6항, 제 8항 내지 제9항 및 제 12항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조되는 몰리브데늄 칼코게나이드 박막
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교 선도연구센터사업(NCRC) 휴먼인터페이스의 실용화를 위한 신뢰성 연구
2 미래창조과학부 멀티스케일 에너지 시스템 연구단 글로벌 프론티어 연구개발 사업 나노 에어로졸 소재 기술
3 미래창조과학부 성균관대학교 일반연구자지원사업-신진(우수신진)연구 박막구조재료로서의 2차원 나노소재