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입체적 형상의 기재; 및상기 기재의 외면의 적어도 일부를 덮는 그래핀;을 포함하는 그래핀 구조물
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제1 항에 있어서,상기 기재는 기둥 형상을 가지며, 상기 그래핀은 상기 기재의 외주면을 감싸는 그래핀 구조물
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3
제2 항에 있어서,상기 기재는 나노 와이어 또는 나노 기둥인 그래핀 구조물
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4
제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기재는 게르마늄으로 형성되거나, 게르마늄이 외면에 도포된 그래핀 구조물
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5
속이 빈 기둥 형상으로 형성된 그래핀을 포함하는 그래핀 구조물
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6
제1 그래핀; 상기 제1 그래핀상에 형성된 지지층; 및상기 지지층상에 형성된 제2 그래핀;을 포함하는 그래핀 구조물
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7
제6 항에 있어서,상기 지지층은 게르마늄으로 형성되거나 게르마늄이 상면에 도포된 그래핀 구조물
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8
제6 항에 있어서,상기 제1 그래핀 및 제2 그래핀 중 적어도 하나는 패터닝된 그래핀 구조물
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9
제6 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 그래핀상에 또 다른 그래핀과 지지층이 적층되어 다층 그래핀을 이루는 그래핀 구조물
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10
제9 항에 있어서,상기 다층 그래핀상에 다수의 구멍이 형성된 그래핀 구조물
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11
제1 그래핀;상기 제1 그래핀의 면에 수직한 방향에 이격된 제2 그래핀; 및상기 제1 그래핀과 상기 제2 그래핀을 가로지르며, 상기 제1 그래핀과 상기 제2 그래핀을 지지하는 제3 그래핀을 포함하는 그래핀 구조물
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12
적어도 일면이 게르마늄층으로 형성된 기재를 마련하는 단계; 및상기 기재가 배치된 챔버 내에 탄소함유 가스를 공급하여 상기 게르마늄층상에 그래핀을 성장시키는 단계;를 포함하며,상기 게르마늄층은 입체적 형상을 가지며, 상기 그래핀은 상기 게르마늄층의 입체적 형상의 외형을 따라 형성하는 그래핀 구조물의 제조방법
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13
제12 항에 있어서,상기 기재는 기둥 형상을 가지며, 상기 그래핀을 상기 기재의 외주면을 따라 형성하는 그래핀 구조물의 제조방법
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14
제12 항에 있어서,상기 기재는 게르마늄으로 형성하며, 상기 그래핀을 형성한 후 상기 기재를 제거하는 그래핀 구조물의 제조방법
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15
제12 항에 있어서,상기 적어도 일면이 게르마늄층으로 형성된 기재를 마련하는 단계는,게르마늄과 다른 물질로 형성된 기재를 마련하는 단계; 및상기 기재의 외면의 적어도 일부에 게르마늄층을 형성하는 단계를 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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16
제15 항에 있어서,상기 게르마늄층은 상기 그래핀을 형성한 후 제거하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제15 항에 있어서,상기 게르마늄층을 소정 패턴으로 패터닝하고, 상기 그래핀을 상기 게르마늄층의 패턴에 따라 성장시키는 그래핀 구조물의 제조방법
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18
제12 항에 있어서,상기 그래핀을 제1 그래핀이라 할 때, 상기 제1 그래핀상에 제2 게르마늄층을 형성하고, 상기 제2 게르마늄층상에 제2 그래핀을 성장시키는 적층 단계를 더 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제18 항에 있어서,상기 제1 그래핀상에 제2 게르마늄층을 형성하는 단계는,상기 제1 그래핀 상에 게르마늄과 다른 물질로 비게르마늄층을 형성하는 단계; 및상기 비게르마늄층상에 제2 게르마늄층을 형성하는 단계;를 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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20
제18 항에 있어서,상기 적층 단계를 반복적으로 수행하여, 다층 그래핀을 형성하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제20 항에 있어서,상기 다층 그래핀에 복수의 구멍을 형성하고, 상기 복수의 구멍에 기능성 물질을 채우는 단계를 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제18 항에 있어서,상기 제1 그래핀 및 상기 제2 그래핀을 소정 패턴으로 식각하는 단계를 더 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제22 항에 있어서,상기 제1 그래핀 및 상기 제2 그래핀의 식각되어 노출된 각 모서리는 수소종결처리하거나, 작용기 처리하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제22 항에 있어서,상기 제1 그래핀 및 상기 제2 그래핀의 식각되어 노출된 측면에 제3 그래핀을 형성하는 단계를 포함하는 그래핀 구조물의 제조방법
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제12 항 내지 제24 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 그래핀은 단원자층, 2원자층 또는 3원자층으로 형성하는 그래핀 구조물의 제조방법
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