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인터포저 기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015143920
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 인터포저 기판이 개시된다. 인터포저 기판은 하부 플레이트와 상부 플레이트, 하부 플레이트와 상부 플레이트 사이에 위치하고 하부 플레이트와 상부 플레이트를 결합시키는 절연막 그리고 하부 플레이트, 절연막 및 상부 플레이트를 관통하는 관통전극을 구비한다.
Int. CL H01L 23/12 (2006.01)
CPC H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01)
출원번호/일자 1020130103971 (2013.08.30)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1465361-0000 (2014.11.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140129283;
심사청구여부/일자 Y (2013.08.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 박화선 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
4 한상민 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**-**, A동***-***호(특허법인지원(광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0794676-30
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0401720-81
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2014.04.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2014.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0035085-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0358459-16
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0712643-79
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0811965-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0920209-45
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2014.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0920258-72
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.09.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0920208-00
11 등록결정서
Decision to grant
2014.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0716198-92
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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삭제
3 3
삭제
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하부 플레이트의 상부면에 전극 패턴을 형성하는 단계;상기 전극 패턴에 의해 노출된 상기 하부 플레이트의 상부면 영역에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상부에 상기 전극 패턴을 노출시키는 제1 관통홀이 형성된 상부 플레이트를 부착시키는 단계;상기 하부 플레이트에 상기 전극 패턴을 노출시키는 제2 관통홀을 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴을 이용하여 상기 제1 및 제2 관통홀을 채우도록 전해 도금 공정을 진행하는 단계를 포함하는 인터포저 기판의 제조방법
5 5
하부 플레이트의 상부면에 전극 패턴을 형성하는 단계;상기 전극 패턴에 의해 노출된 상기 하부 플레이트의 상부면 영역에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상부에 상부 플레이트를 부착시키는 단계;상기 상부 플레이트에 상기 전극 패턴의 상부면을 노출시키는 제1 관통홀을 형성하고 상기 하부 플레이트에 상기 전극 패턴의 하부면을 노출시키는 제2 관통홀을 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴을 이용하여 상기 제1 및 제2 관통홀을 채우도록 전해 도금 공정을 진행하는 단계를 포함하는 인터포저 기판의 제조방법
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 전극 패턴을 형성하는 단계는,상기 하부 플레이트 상부면 상에 도전막을 형성하는 단계;상기 도전막 상부에 상기 전극 패턴에 대응하는 포토레지스터 패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스터 패턴을 마스크로 이용한 식각 공정을 통하여 상기 도전막을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터포저 기판의 제조방법
7 7
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 전해 도금 공정은 상기 전극 패턴에 양의 전압을 인가하고 구리 소스에 음의 전압을 인가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 인터포저 기판의 제조방법
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1 KR101490085 KR 대한민국 FAMILY

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