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금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법 및 이를 이용한 복합필름.

  • 기술번호 : KST2015143964
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원 발명은 제 1 기판의 일면을 표면 처리하는 단계, 상기 표면 처리된 제 1 기판의 일면 상에 금속 박막을 형성하는 단계, 상기 금속 박막 상에 접착성 캐리어 필름을 부착하는 단계, 상기 접착성 캐리어 필름에 물리적인 힘을 인가하여 상기 금속 박막(120)을 상기 제 1 기판(110)으로부터 분리하는 단계를 포함하여 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름을 제조하는 것이 가능할 것이다. 또한, 상기 표면 처리된 제 1 기판의 일면 상에 금속 박막을 형성하는 단계, 상기 금속 박막 상에 접착성 캐리어 필름을 부착하는 단계 사이에 상기 금속 박막 표면에 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist, DFR)를 코팅하는 단계, 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 패터닝하는 단계, 상기 패터닝된 드라이 필름 레지스트(DFR)를 이용하여 하부의 상기 금속 박막을 가공하는 단계, 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 제거하는 단계를 더 포함하는 것도 가능할 것이다. 이를 통해 젖음성이 좋지 않은 기판에 금속 박막을 형성시킬 수 있고, 기판으로부터 금속 박막을 손상 없이 용이하게 분리할 수 있다.또한, 금속 박막이 부착된 캐리어 필름은 유연한 재질이기 때문에, 롤투롤 공정을 사용하여 저렴한 비용으로 기판에 금속 박막을 형성시킬 수 있다.마지막으로 드라이 필름 레지스트(DFR)을 패터닝 하는 방법을 이용하여 금속 박막을 패터닝하는 것이 가능하다.
Int. CL B32B 15/08 (2006.01)
CPC B32B 15/08(2013.01) B32B 15/08(2013.01) B32B 15/08(2013.01) B32B 15/08(2013.01)
출원번호/일자 1020130126698 (2013.10.23)
출원인 (주)창성, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1522534-0000 (2015.05.18)
공개번호/일자 10-2015-0047002 (2015.05.04) 문서열기
공고번호/일자 (20150526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)창성 대한민국 충청북도 청주시 청원구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경섭 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 최현석 대한민국 경기도 부천시 소사구
3 서수정 대한민국 경기 수원시 권선구
4 김진수 대한민국 서울 관악구
5 조영래 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)창성 대한민국 충청북도 청주시 청원구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0959910-01
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0407119-90
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0055863-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0658283-25
6 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2014.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0923102-84
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1140179-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-1140167-65
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0133056-99
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0304918-50
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2015.03.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0304919-06
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2015.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0275917-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2016-0020966-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.05.31 수리 (Accepted) 4-1-2016-5069238-30
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.10.18 수리 (Accepted) 4-1-2016-5148823-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법에 있어서, (A) 제 1 기판의 일면을 표면 처리하는 단계;(B) 상기 표면 처리된 제 1 기판의 일면 상에 금속 박막을 형성하는 단계; (C) 상기 금속 박막 표면에 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist, DFR)를 코팅하는 단계;(D) 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 패터닝하는 단계;(E) 상기 패터닝된 드라이 필름 레지스트(DFR)를 이용하여 하부의 상기 금속 박막을 가공하는 단계;(F) 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 제거하는 단계;(G) 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)이 제거된 금속 박막 상에 접착성 캐리어 필름을 부착하는 단계; 및(H) 상기 접착성 캐리어 필름에 물리적인 힘을 인가하여 상기 금속 박막을 상기 제 1 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하되,상기 (D) 단계는 (a) 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 원하는 패턴으로 노광시키는 단계; 및 (b) 상기 노광처리된 드라이 필름 레지스트(DFR)를 현상하여 제거하는 단계를 포함하고,상기 (F) 단계에서아세톤, 톨루엔, 부틸셀로솔브 및 에틸알콜 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 유기 용매를 이용하여 상기 드라이 필름 레지스트(DFR)를 녹여 제거하며,상기 (A)단계에서,상기 제1 기판의 일면은 표면 조도가 10내지 400nm가 되도록 폴리싱을 수행하고,상기 제1 기판은 폴리싱을 수행하여 구리 도금액에 대하여 상기 제1 기판은 60-90°의 젖음각을 갖고, 상기 (B)단계에서,상기 제1 기판을 황산구리, 황산, 염산, 첨가제로 이루어진 구리 도금액에 침지하여 전류를 인가하여 전해도금을 수행하여, 전해 도금 시간에 따라 상기 금속 박막의 두께를 1 내지 15㎛가 되도록 조절하여 상기 금속박막이 상기 제1 기판과 직접 접촉하면서 형성되고,상기 (H)단계에서,상기 금속 박막은 상기 접착성 캐리어 필름에 물리적인 힘인 50gf/inch 이하로 상기 제1 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 금속 박막은 Cu, Al, Ni, Cr, Ag, Fe, Au, Co, Ti 및 W 중의 적어도 어느 하나 이상의 금속을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법
4 4
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5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 제 1 기판은 서스(sus) 기판인 것을 특징으로 하는 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법
7 7
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8 8
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9 9
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10 10
청구항 1에 있어서, 상기 (E) 단계에서습식 에칭(wet etching) 또는 플라즈마 에칭(plasma etching), 반응성 이온 에칭(reactive ion etching)을 포함하는 건식 에칭(dry etching) 중의 적어도 어느 하나 이상의 방법으로 상기 금속 박막을 처리하는 것을 특징으로 하는 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름 제조 방법
11 11
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12 12
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13 13
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14 14
복합필름 제조 방법에 있어서, (가) 롤투롤 공정을 이용하여 청구항 1의 금속 박막을 포함하는 캐리어 필름을 제 2 기판의 표면에 접착하는 단계; 및(나) 상기 캐리어 필름을 상기 금속 박막으로 부터 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 박막과 캐리어 필름을 포함하는 복합필름 제조 방법
15 15
복합필름에 있어서, 청구항 14의 방법으로 제조되며, 상기 제 2 기판은 플렉시블(flexible)한 기판인 것을 특징으로 하는 금속 박막과 캐리어 필름을 포함하는 복합필름
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 동현전자㈜ 산업소재산업원천기술개발사업 압출공정 기반 전자파 차폐소재 및 50 dB급 일체형 필름 제조공정 기술개발