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프로브 시스템을 위한 수직/수평 겸용 캘리브레이션 키트

  • 기술번호 : KST2015144524
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 프로브 시스템이 개시된다. 프로브 시스템은 검사 대상인 회로기판을 상기 베이스 플레이트에 대해 수직하게 파지할 수 있는 지지부재, 회로기판의 도전성 패턴과 접촉하는 탐침을 구비하는 프로브팁 부재, 프로브팁 부재와 결합하여 프로팁 부재를 원하는 위치로 이동시킬 수 있는 가이드팔 부재 및 프로브팁 부재의 탐침에 전기적으로 연결되어 회로기판에 형성된 도전성 패턴의 전자기적 특성을 분석하는 네트워크 분석 장치를 포함한다. 또한, 이 프로브 시스템을 이용한 네트워크 분석 장치의 멀티포트 보정 시에 유용한 캘리브레이션 키트가 개시된다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01)
CPC G01R 1/07328(2013.01) G01R 1/07328(2013.01) G01R 1/07328(2013.01) G01R 1/07328(2013.01) G01R 1/07328(2013.01)
출원번호/일자 1020130123855 (2013.10.17)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1569251-0000 (2015.11.09)
공개번호/일자 10-2015-0045022 (2015.04.28) 문서열기
공고번호/일자 (20151116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나완수 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김태호 대한민국 서울특별시 강동구
3 김종현 대한민국 경북

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0937165-87
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2014.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0168309-73
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0067608-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0695385-96
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-1103093-73
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1103092-27
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0067873-92
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0310664-44
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0418416-37
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0521338-68
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0606157-16
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0606156-71
14 등록결정서
Decision to grant
2015.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0738865-87
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
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회로기판을 검사하기 위한 프로브 시스템의 네트워크 분석장치를 보정하는데 사용되는 캘리브레이션 키트에 있어서, 기판; 및적어도 하나 이상의 관통 패턴을 포함하고, 상기 관통 패턴은,상기 기판의 제1 면에 형성되고 제1 신호 패턴 및 상기 제1 신호 패턴과 이격된 하나 이상의 제1 그라운드 패턴을 구비하는 제1 도전패턴; 상기 제1 면에 대향하는 상기 기판의 제2 면에 형성되고 상기 제1 신호 패턴과 거울상 대칭구조를 갖는 제2 신호 패턴 및 상기 제1 그라운드 패턴과 거울상 대칭구조를 갖는 하나 이상의 제2 그라운드 패턴을 구비하는 제2 도전패턴; 및 상기 기판을 관통하고 상기 제1 신호패턴과 상기 제2 신호 패턴을 전기적으로 연결하는 제1 관통 전극 및 상기 기판을 관통하고 상기 제1 그라운드 패턴과 상기 제2 그라운드 패턴을 전기적으로 연결하는 하나 이상의 제2 관통전극을 구비하는 관통전극을 포함하고,상기 제1 신호 패턴 및 상기 제1 그라운드 패턴에는 상기 프로브 시스템 중 제1 프로브팁 부재의 신호 탐침 및 그라운드 탐침이 각각 접촉하며,상기 제2 신호 패턴 및 상기 제2 그라운드 패턴에는 상기 제1 프로브팁 부재와 동시에 상기 프로브 시스템 중 상기 제1 프로브팁 부재와 다른 제2 프로브팁 부재의 신호 탐침 및 그라운드 탐침이 각각 접촉하는 것을 특징으로 하는 캘리브레이션 키트
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제5항에 있어서, 상기 제1 그라운드 패턴은 상기 제1 신호 패턴을 사이에 두고 제1 방향으로 서로 이격된 2개의 그라운드 패턴을 포함하고, 상기 제1 신호 패턴의 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로의 길이는 상기 2개의 그라운드 패턴들의 상기 제2 방향으로의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 캘리브레이션 키트
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제5항에 있어서, 상기 기판의 제1 면에 형성되고 서로 이격된 제1 단락 패턴, 제1 개방 패턴 및 제1 로드 패턴 및 상기 기판의 제2 면에 형성되고 서로 이격된 제2 단락 패턴, 제2 개방 패턴 및 제2 로드 패턴을 더 포함하고, 상기 제2 단락 패턴, 상기 제2 개방 패턴 및 상기 제2 로드 패턴과 상기 제1 단락 패턴, 상기 제1 개방 패턴 및 상기 제1 로드 패턴은 각각 거울상 대칭구조를 갖는 것을 특징으로 하는 캘리브레이션 키트
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