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캔틸레버 지지대, 상기 캔틸레버 지지대상에 위치하며 일측이 부상된 캔틸레버 아암, 상기 캔틸레버 아암 선단에 위치한 팁, 상기 팁 내에 형성된 채널 및 상기 채널의 양측면에 각각 형성된 소스 및 드레인으로 이루어진 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버에 있어서, 상기 팁은 콘 모양 또는 피라미드 모양임을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버
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제 1항에 있어서, 상기 캔틸레버 지지대는 제 1 실리콘층 및 상기 제 1 실리콘층 상부의 제 1 절연막을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버
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제 2항에 있어서, 상기 제 1 절연막 상에 도파관과 전극 패드 역할을 하는 메탈 라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버
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제 3항에 있어서, 상기 메탈은 금임을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버
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제 1항에 있어서, 상기 캔틸레버 아암은 실리콘 질화막으로 구성됨을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버
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고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법에 있어서, 제 1 실리콘층, 제 1 절연막 및 제 2 실리콘층이 순차적으로 적층된 실리콘-온-절연체 기판의 제 2 실리콘층 상부에 팁을 형성하는 단계; 상기 팁에 제 3 절연막을 적층하여 팁 주변의 제 2 실리콘층을 제거하는 단계; 상기 팁을 포함하는 제 1 절연막 상부에 캔틸레버 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 캔틸레버 마스크 패턴을 마스크로 하여 제 1 절연막 상부에 채널 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 채널 마스크 패턴으로 마스킹 하여 불순물을 주입하고 열처리하는 단계; 상기 팁과 불순물이 주입된 영역들을 포함하는 형상을 갖는 제 1 절연막 상부에 메탈 라인을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 메탈 라인을 갖는 제 1 절연막과 제 1 실리콘층을 포함하여 캔틸레버를 형성하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 제 2 실리콘층 상부에 팁을 형성하는 단계는 제 1 실리콘층, 제 1 절연막 및 제 2 실리콘층이 순차적으로 적층된 실리콘-온-절연체 기판 상하부에 제 2 절연막을 적층하는 단계; 상기 제 2 절연막 상에 포토레지스트막을 적층한 후 팁이 형성될 영역을 제외하고 건식 식각한 후 포토레지스트막을 제거하는 단계; 상기 제 2 실리콘층을 건식 식각하는 단계; 및 건식 식각된 제 2 실리콘층 상부에 위치하는 제 2 절연막을 습식 식각하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 팁 주변의 제 2 실리콘층을 제거하는 단계는 습식 열 산화 방법 또는 플라즈마 식각을 사용하는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 습식 열 산화 방법은 BHF와 초순수를 7:1의 부피 비율로 혼합한 용액을 이용함을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 캔틸레버 마스크 패턴을 형성하는 단계는 상기 팁과 제 1 절연막 상부에 제 4 절연막, 제 5 절연막, 폴리 실리콘층 및 포토레지스트막을 순차적으로 적층하는 단계; 사진 식각공정을 수행하여 상기 포토레지스트막을 제거하여 제 1 마스크 패턴을 상기 폴리 실리콘층 상부에 형성하는 단계; 및 상기 제 1 마스크 패턴으로 마스킹하여 폴리 실리콘층에서 제 5 절연막까지 식각하여 제 1 절연막 상부에 제 2 마스크 패턴을 형성하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 제 4 절연막과 제 5 절연막은 상호 이종 물질로 이루어지며, 각각 실리콘 질화막과 TEOS 산화막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 불순물을 주입하는 단계는 제 1 절연막에 P형 불순물이 도핑되어 있으면 N형 불순물을 주입하고, 제 1 절연막에 N형 불순물이 도핑되어 있으면 P형 불순물을 주입하는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 메탈 라인을 형성하는 단계는 불순물이 주입된 팁을 포함하는 제 1 절연막의 상부에 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 증착하는 단계; 사진 식각과 습식 식각을 통해 실리콘 산화막은 제거하고 팁 영역의 실리콘 질화막은 제거하는 단계; 실리콘 질화막과 팁을 포함하는 제 1 절연막 상부에 포토레지스트막과 메탈을 증착하는 단계; 및 리프트 오프를 통해 포토레지스트막을 제거하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 14항에 있어서, 상기 메탈을 증착하는 단계는 금을 사용하는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 캔틸레버를 형성하는 단계의 제 1 실리콘층은 건식 식각하는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 캔틸레버를 형성하는 단계의 제 1 실리콘층은 건식 식각하는 것을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법
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