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마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법

  • 기술번호 : KST2015145367
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 마이크로플루이딕 채널 내의 유체역학적 노즐효과를 이용함으로써, 웨이퍼나 평판상에 미세구조를 형성할 수 있는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법에 관한 것이다.본 발명의 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법은, 미세구조를 형성하고자 하는 평판 위에 박막을 형성하는 제1단계; 상기 박막 위에 마이크로플루이딕 채널을 형성하는 제2단계; 및 상기 마이크로플루이딕 채널을 통해 식각용액 및 중성용액을 주입하여 상기 박막을 식각하는 제3단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.따라서, 본 발명의 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법은 유체역학적 노즐효과를 이용하여 마이크로플루이딕 채널을 통해 흐르는 용액의 위치 또는 폭을 조절함으로써 웨이퍼나 평판 상에 미세구조를 형성할 수 있고, 고가의 장비에 의존하지 않고 미세구조를 제작할 수 있으며, 다른 공정의 추가 없이 표면처리, 측정 또는 복잡한 형태의 구조물 제작을 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.마이크로플루이딕, 미세구조, 나노구조.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B81C 1/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020070052660 (2007.05.30)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0105281 (2008.12.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최연식 대한민국 서울 강남구
2 홍혁기 대한민국 경기 성남시 분당구
3 박순섭 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0397005-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0035585-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0579682-56
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0032944-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0032918-06
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0061066-26
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세구조를 형성하고자 하는 평판 위에 박막을 형성하는 제1단계;상기 박막 위에 마이크로플루이딕 채널을 형성하는 제2단계; 및상기 마이크로플루이딕 채널을 통해 식각용액 및 중성용액을 주입하여 상기 박막을 식각하는 제3단계를 포함하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제1단계의,상기 박막은, 단일층으로 형성하거나 2개 이상의 복수 개의 층으로 형성하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제3단계 이후,상기 마이크로플루이딕 채널을 제거하는 단계;상기 마이크로플루이딕 채널과 다른 구조, 각도 또는 위치를 가지는 마이크로플루이딕 채널을 상기 박막 위에 형성하는 단계; 및새롭게 형성된 상기 마이크로플루이딕 채널을 통해 식각용액 및 중성용액을 주입하여 상기 박막을 식각하는 단계를 더 포함하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제3단계는,유체역학적 노즐효과를 이용하여 상기 식각용액 및 중성용액의 유량, 압력 또는 농도의 조절을 통해 상기 마이크로플루이딕 채널 내에 흐르는 각 용액의 위치 또는 폭을 조절하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 미세구조는 나노구조, 나노와이어 및 나노점 중 어느 하나 이상인 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제2단계의,상기 마이크로플루이딕 채널은, 제작하고자 하는 상기 미세구조의 모양 또는 크기에 의해 설계하여 형성하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 마이크로플루이딕 채널은, 포토리소그라피에 의해 패턴을 전사하고 식각하여 형성하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 마이크로플루이딕 채널은, PDMS를 사용하여 Soft lithography에 의해 형성하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 마이크로플루이딕 채널은, 삼차원레이저를 이용하여 유리기판에 형성하는 마이크로플루이딕 채널을 이용한 미세구조 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.