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반사판을 구비한 마이크로 히터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015145375
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 히팅 구조물의 하부에 반사판을 형성함으로써, 히팅 구조물의 하부로부터 발열된 열을 반사하여 외부로 방출시켜, 발열효율을 향상시킬 수 있는 반사판을 구비한 마이크로 히터를 제공함에 그 목적이 있다. 본 발명의 반사판을 구비한 마이크로 히터는 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터에 있어서, 외부에서 인가된 전압을 이용하여 열을 방출하기 위한 기판상에 형성된 히팅 구조물; 및 상기 히팅 구조물로부터 방출되는 열을 반사시키기 위하여 상기 히팅 구조물 하부에 위치한 상기 기판상에 형성한 반사판을 포함한다. 마이크로, 히터, 반사판
Int. CL B81B 7/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070068367 (2007.07.06)
출원인 전자부품연구원, 경기도
등록번호/일자 10-0917792-0000 (2009.09.17)
공개번호/일자 10-2009-0004279 (2009.01.12) 문서열기
공고번호/일자 (20090924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.06)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 경기도 대한민국 경기도 수원시 팔달구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍성민 대한민국 경기 용인시 수지구
2 황학인 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)
3 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 경기도 대한민국 경기도 수원시 팔달구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2007-0496163-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017013-13
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2008-5176113-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0596126-36
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0054050-96
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0054085-83
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0068797-91
9 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0155609-09
10 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2009.04.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2009-0018182-65
11 등록결정서
Decision to grant		 2009.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0252471-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
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기판상에 반사판을 형성하는 단계; 상기 반사판상에 제1, 2절연막을 차례로 형성하는 단계; 상기 제2절연막의 상부에 히팅 구조물을 형성하는 단계; 상기 히팅 구조물에 전압을 인가하기 위한 전극 패드를 형성하는 단계; 상기 히팅 구조물 상부에 패시배이션층을 형성하는 단계; 상기 패시배이션층 상부에 방열 안테나를 형성하는 단계; 상기 패시배이션층 및 제2절연막 일부를 식각하여 개구부를 형성하여 상기 제1절연막을 노출시키는 단계; 및 상기 제1절연막을 식각하여 캐비티를 형성하는 단계 를 포함하는 반사판을 구비한 마이크로 히터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.