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프로브 핀에 대한 정렬장치에 있어서,
상기 프로브 핀의 움직임을 제한하기 위한 일측면의 상부 슬릿 및 하기 하판과 결합하기 위한 타측면의 홈이 형성되어 있는 상판; 및
상기 상판과 결합하기 위한 돌출부와 상기 프로브 핀을 삽입하기 위한 하부 슬릿 및 드라이버 IC를 연결하기 위한 홈이 형성되어 있는 하판
을 포함하는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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제 1항에 있어서,
상기 상판은 프로브 핀과의 충돌 시 파손을 방지하기 위해 파릴렌 막을 증착하는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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제 1항에 있어서,
상기 상부 슬릿은 하나 이상의 슬릿이 종횡비가 같도록 구성되어 있고, 각 슬릿의 표면은 절연되어 있는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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제 1항에 있어서,
상기 하부 슬릿은 하나 이상의 슬릿이 종횡비가 같도록 구성되어 있고, 각 슬릿의 표면은 절연되어 있으며, 각각의 상기 슬릿은 상기 드라이버 IC와 전기적으로 연결되는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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5
제 1항에 있어서,
상기 하판은 금속을 증착하여 패턴하는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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제 5항에 있어서,
상기 금속은 Au, Ag, Cu, Ni 중 어느 하나 이상으로 이루어진 프로브 핀에 대한 정렬장치
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7
제 5항에 있어서,
상기 하판에서 금속을 증착하여 패턴하기 전에 도금공정을 수행하는 것을 더 포함하는 프로브 핀에 대한 정렬장치
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8
제 7항에 있어서,
상기 도금공정은 Au, Ag, Cu, Ni 중 어느 하나 이상의 금속을 0
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