맞춤기술찾기

이전대상기술

삼중 전극을 이용한 정전방식 다중 노즐 액적 토출 장치 및 그의 구동방법

  • 기술번호 : KST2015145624
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴의 정밀도를 향상시키면서 다중 노즐을 구현하여 양산화가 가능한 삼중 전극을 이용한 정전방식 다중 노즐 액적 토출 장치 및 그의 구동방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 위해, 본 발명은 용액을 수용하는 저수조와, 기판이 안착되는 척(chuck)과, 상기 용액이 액적 형태로 토출되는 토출구를 구비한 노즐과, 상기 노즐과 전기적으로 분리된 상태로 상기 기판과 상기 노즐 사이에 위치되고, 상기 액적이 관통하여 상기 기판 상에 토출되도록 관통 구멍을 구비한 게이트 전극과, 상기 노즐에 일정한 바이어스 전압을 공급하는 제1 전압 공급수단과, 상기 게이트 전극에 펄스 형태의 게이트 전압을 공급하는 제2 전압 공급수단을 구비하는 액적 토출 장치를 제공한다.따라서, 본 발명은 삼중 전극(노즐, 게이트 전극 및 기판)을 이용한 정전방식을 구현함으로써 종래기술에서 문제가 되었던 다중 노즐에서의 간섭을 방지하고, 패턴의 정밀도를 향상시키면서 다중 노즐을 구현할 수 있으며, 이를 통해 양산화가 가능하다.
Int. CL B05C 5/00 (2006.01)
CPC B05C 5/027(2013.01)B05C 5/027(2013.01)B05C 5/027(2013.01)B05C 5/027(2013.01)
출원번호/일자 1020100078233 (2010.08.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0015798 (2012.02.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.13)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이경일 대한민국 충청북도 청원군
2 김성현 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 조진우 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 심재만 대한민국 대구광역시 달서구 호산로 ** ,(주)공성 *층 (파호동)(특허법인 스마트(대구분사무소))
3 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0521905-63
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0296799-12
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0569150-81
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0579969-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0668861-79
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0765933-66
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0798846-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용액을 수용하는 저수조;기판이 안착되는 척(chuck);상기 용액이 액적 형태로 토출되는 토출구를 구비한 노즐; 상기 노즐과 전기적으로 분리된 상태로 상기 기판과 상기 노즐 사이에 위치되고, 상기 액적이 관통하여 상기 기판 상에 토출되도록 관통 구멍을 구비한 게이트 전극;상기 노즐에 직류 바이어스 전압을 공급하는 제1 전압 공급수단; 및상기 게이트 전극에 펄스 형태의 게이트 전압을 공급하는 제2 전압 공급수단을 구비하는 액적 토출 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판 또는 상기 척은 접지전압단과 연결된 액적 토출 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 노즐과 상기 게이트 전극은 복수개가 서로 대향되어 어레이 형태로 배열되고, 상기 노즐과 상기 게이트 전극은 절연체에 의해 서로 전기적으로 분리된 액적 토출 장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 제2 전압 공급 수단은 상기 복수개의 게이트 전극에 각각 독립적으로 상기 게이트 전압을 공급하여 각 노즐마다 독립적으로 액적의 토출을 유도하는 액적 토출 장치
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 액적 토출 장치의 구동방법에 있어서, 상기 게이트 전압과 상기 바이어스 전압 간의 전압차를 감소시켜 상기 노즐과 상기 게이트 전극 간의 전기장이 상기 액적의 토출에 필요한 토출 전기장보다 낮도록 조절하고, 상기 게이트 전압과 상기 바이어스 전압 간의 전압차를 증가시켜 상기 노즐과 상기 게이트 전극 간의 전기장이 상기 액적의 토출에 필요한 전기장보다 높도록 조절하여,상기 액적의 토출을 제어하는 액적 토출 장치의 구동방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.