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금속기판 상부에 마스크막을 형성하는 단계와;
상기 마스크막을 선택적으로 제거하여, 상기 마스크막에 복수개의 관통홀들을 형성하는 단계와;
상기 복수개의 관통홀들 내부에 세라믹 유전체 물질을 형성하여, 복수개의 세라믹 유전체막들을 형성하는 단계와;
상기 마스크막을 제거하는 단계와;
상기 복수개의 세라믹 유전체막들 상부에 동박을 라미네이트하는 단계와;
상기 동박과 상기 금속기판 사이에 폴리머 유전체를 충진하는 단계로 구성된 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법
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금속기판 상부에 마스크막을 형성하는 단계와;
상기 마스크막을 선택적으로 제거하여, 상기 마스크막에 복수개의 관통홀들을 형성하는 단계와;
상기 복수개의 관통홀들 내부에 세라믹 유전체 물질을 형성하여, 복수개의 세라믹 유전체막들을 형성하는 단계와;
상기 마스크막을 제거하는 단계와;
상기 마스크막이 제거된 복수개의 세라믹 유전체막들 측면을 감싸며, 상기 금속기판에 폴리머 유전체를 형성하는 단계와;
상기 폴리머 유전체와 상기 복수개의 세라믹 유전체막들 상부에 동박을 형성하는 단계로 구성된 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법
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청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 마스크막은,
포토레지스트로 형성하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법의 제조 방법
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4
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 복수개의 세라믹 유전체막들은,
에어로졸 증착(Aerosol deposition) 공정, 스퍼터(Sputter) 공정, 이베퍼레이션(Evaporation) 공정, 이온 플레이팅(Ion plating) 공정, 인쇄 공정과 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition; CVD) 중 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법의 제조 방법
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5
청구항 2에 있어서,
상기 폴리머 유전체를 형성하는 공정은,
페이스트 인쇄 공정 또는 잉크 프린트 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법의 제조 방법
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6
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 동박은,
상기 복수개의 세라믹 유전체막들 상부에 라미네이션(Lamination) 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법의 제조 방법
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7
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 복수개의 세라믹 유전체막들은,
주기적으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판의 제조 방법의 제조 방법
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8
금속기판과;
상기 금속기판 상부에 형성되고, 상호 이격된 복수개의 세라믹 유전체막들과;
상기 복수개의 세라믹 유전체막들 상부에 형성된 동박과;
상기 금속 기판과 동박 사이에 충진된 폴리머 유전체로 구성된 콘덴서 내장형 기판
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9
청구항 8에 있어서,
상기 복수개의 세라믹 유전체막들 각각의 형상은,
원기둥 형상인 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판
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10
청구항 8에 있어서,
상기 복수개의 세라믹 유전체막들은,
주기적으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 콘덴서 내장형 기판
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