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제 1 실리콘 기판의 중앙부에 실리콘 나노와이어를 제작하는 제 1 단계; 제 2 실리콘 기판에 마이크로 유체채널을 형성하는 제 2 단계; 상기 제 1 실리콘 기판의 상기 실리콘 나노와이어가 형성된 일측과 상기 제 2 실리콘 기판의 마이크로 유체채널이 형성된 일측을 본딩하는 제 3 단계; 상기 제 1 실리콘 기판에 전극을 형성하는 제 4 단계; 상기 제 1 실리콘 기판에 형성된 두 전극 사이에 상기 실리콘 나노와이어만 남도록 제 1 실리콘 기판의 일부를 식각하는 제 5 단계; 및본딩된 상기 마이크로 유체채널이 형성된 상기 제 2 실리콘 기판의 하부에 홀을 뚫어 유체의 유입을 위한 제 1 호스 연결부 및 유출을 위한 제 2 호스 연결부를 형성하는 제 6 단계;를 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 제조방법
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제 1 실리콘 기판의 중앙부에 실리콘 나노와이어를 제작하는 제 1 단계; 제 2 실리콘 기판에 마이크로 유체채널을 형성하는 제 2 단계; 상기 제 1 실리콘 기판의 상기 실리콘 나노와이어가 형성된 일측과 상기 제 2 실리콘 기판의 마이크로 유체채널이 형성된 일측을 본딩하는 제 3 단계; 상기 제 1 실리콘 기판에 전극을 형성하는 제 4 단계; 상기 제 1 실리콘 기판에 형성된 두 전극 사이에 상기 실리콘 나노와이어만 남도록 제 1 실리콘 기판의 일부를 식각하는 제 5 단계; 및본딩된 상기 마이크로 유체채널이 형성된 상기 제 2 실리콘 기판의 하부를 연마하여 상기 마이크로 유체채널을 통하여 상기 실리콘 나노와이어의 일부를 외부로 노출시키는 제 6 단계; 및 상기 제 2 실리콘 기판에 제 3 기판을 부착하는 제 7 단계;를 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 마이크로 유체채널은 상기 실리콘 나노와이어와 소정각도를 형성하는 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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청구항 3에 있어서,상기 마이크로 유체채널은 상기 실리콘 나노와이어와 직교하도록 형성되는 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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청구항 2에 있어서,상기 제 3 기판은 PDMS(Polydimethysiloane)인 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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6
청구항 2에 있어서,상기 제 3 기판에는 상기 유체채널에 연결되는 유입구와 유출구가 형성되는 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 실리콘 나노와이어 표면에 타겟분자를 포획하는 리셉터를 부착하는 단계를 더 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 리셉터는 효소기질, 리간드, 아미노산, 펩티드, 단백질, 핵산, 지질 및 탄수화물 중 적어도 하나를 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오 센서 제조방법
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