| 1 |
1
a) 기판 상에 적어도 하나의 실리콘 기둥을 형성하는 단계;b) 충전재를 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥 주위에 채우는 단계;c) 상기 충전재의 상부를 평탄화하여, 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥의 상단부를 노출시키는 단계;d) 상기 기판의 후면에 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥의 위치에 구멍을 뚫어 상기 적어도 하나의 기둥의 후단부를 노출시키는 단계; 및e) 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리 기판 및 실리콘 기판이 상호 부착된 것을 포함하며, 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥은 상기 실리콘 기판을 에칭하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 액적 토출용 노즐 제조 방법은 f) 상기 단계 a) 이후, 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥 상에 노즐 몸체용 막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 액적 토출용 노즐 제조 방법은g) 상기 단계 c) 이 후, 상기 평탄화된 충전재를 가공하여 노즐의 외형을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 단계 g)는 상기 평탄화된 충전재 상부에 DFR을 부착하고, 상기 DFR을 패터닝한 후, 상기 패터닝된 DFR을 마스크로 하는 샌딩 공정으로 상기 노즐의 외형을 형성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 6 |
6
제 4 항에 있어서, 상기 단계 d)는 상기 기판 후면 상에 DFR를 부착하고, 상기 DFR를 패터닝한 후, 상기 패터닝된 DFR을 마스크로 하는 샌딩 공정으로 상기 구멍을 형성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 7 |
7
A) 제 1 기판의 일면 상에 적어도 하나의 실리콘 기둥을 형성하는 단계;B) 상기 제 1 기판과 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥 사이에 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥이 묻히도록 충전재를 채우는 단계;C) 상기 충전재의 상부를 평탄화한 후, 상기 평탄화된 충전재 상에 제 2 기판을 부착하는 단계;D) 상기 제 2 기판의 후면에 DFR 패터닝 및 샌딩 공정으로 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥의 위치에 구멍을 뚫어 상기 적어도 하나의 기둥의 상단부를 노출시키는 단계; E) 상기 충전재를 스토퍼로서 상기 제 1 기판의 후면으로부터 식각하여 상기 제 1 기판을 제거하는 단계;F) 단계 E) 이후, 노출되는 상기 충전재를 노즐 외경 DFR 패터닝 및 샌딩 공정을 통해 노즐 외경을 형성하는 단계; 및G) 단계 F)에 의해 노출되는 상기 적어도 하나의 실리콘 기둥을 제거하여 노즐의 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 제조 방법
|
| 8 |
8
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 의해 제조된 노즐;상기 노즐의 후면에 형성되며, 잉크통과 연결되어 상기 잉크 통으로부터 잉크를 수용하고, 잉크를 상기 노즐에 공급하기 위한 연결부; 및상기 연결부와 기판 사이에 고압을 제공하기 위한 고압 발생기를 포함하는 정전식 액적 토출 장치
|
