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적외선을 투과시킬 수 있는 기판과; 상기 기판 상부에 형성된 무반사 코팅막과; 상기 기판 하부에 형성된 적외선 필터와; 상기 무반사 코팅막 상부에 형성된 하부전극과; 상기 하부전극 상부에 형성되며, 중앙 및 측면에 상기 하부전극을 노출시키는 개구가 형성되어 있는 절연막과; 상기 중앙에 있는 개구에 충진되어 형성되는 적외선 감지물질막과; 상기 절연막 상부 일부와 상기 적외선 감지물질막 일부를 감싸서 형성되는 상부전극으로 이루어진 적외선 감지 소자와; 상부 중앙영역에 오목 렌즈 영역이 형성되어 있고, 그 오목 렌즈 영역 상부에 반사막이 형성되어 있고, 상기 오목 렌즈 영역이 형성되어 있지 않은 상부에 금속 패턴이 형성되어 있고, 상기 금속 패턴 상부에 범프(Bump)가 형성되어 있으며, 상기 적외선 감지 소자의 상, 하부전극이 범프에 본딩되어 있는 베이스 기판으로 구성된 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지
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제 1 항에 있어서, 상기 적외선 감지물질막 상부 영역의 상부전극 상부에 적외선 흡수막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지
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제 3 항에 있어서, 상기 적외선 흡수막은, 블랙(Black) Pt막 또는 Ni/Cr 적층막인 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지
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제 1 항, 제 3 항과 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적외선 감지물질막은, PZT(Pb(Zrx,Ti1-x)O3)계 또는 PLZT(Pby,La1-y)(Zrx,Ti1-x)O3)계막인 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지
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제 1 항에 있어서, 상기 적외선 필터(Infrared filter)는,입사되는 적외선에서 원하는 파장대역의 적외선만을 통과시키는 밴드 패스 필터(Band pass filter) 또는 에지 필터(Edge filter)인 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지
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적외선을 투과시킬 수 있는 기판과; 상기 기판 상부에 형성된 무반사 코팅막과; 상기 기판 하부에 형성된 적외선 필터와; 상기 무반사 코팅막 상부에 형성된 하부전극과; 상기 하부전극 상부에 형성되며, 중앙 및 측면에 상기 하부전극을 노출시키는 개구가 형성되어 있는 절연막과; 상기 중앙에 있는 개구에 충진되어 형성되는 적외선 감지물질막과; 상기 절연막 상부 일부와 상기 적외선 감지물질막 일부를 감싸서 형성되는 상부전극으로 이루어진 적외선 감지 소자를 제작하는 제 1 단계와;베이스 기판의 상부 중앙영역을 식각하여, 오목 렌즈 영역을 만들고, 상기 식각된 오목 렌즈 영역에 반사막을 형성하는 제 2 단계와;상기 식각된 오목 렌즈 영역 양측에 있는 식각 되지 않은 베이스 기판 상부에 금속 패턴을 형성하고, 상기 금속 패턴 상부에 범프(Bump)를 형성하는 제 3 단계와;상기 적외선 감지 소자의 적외선 감지 물질막이 상기 오목 렌즈 영역과 대향되도록 위치시키고, 상기 범프를 상기 적외선 감지 소자의 상부전극과 하부전극 각각에 본딩하는 제 4 단계로 구성된 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키징 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 적외선 감지물질막 상부 영역의 상부전극 상부에 적외선 흡수막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키징 방법
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제 7 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 적외선 필터(Infrared filter)는,입사되는 적외선에서 원하는 파장대역의 적외선만을 통과시키는 밴드 패스 필터(Band pass filter) 또는 에지 필터(Edge filter)인 것을 특징으로 하는 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키징 방법
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