맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

절연성 프로브 팁과 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015146405
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 프로브 팁의 두께가 증가되지 않으면서 프로브 팁 상호간의 절연성이 우수한 절연성 프로브 팁 및 그 제조방법을 제공함에 목적이 있다.본 발명의 절연성 프로브 팁은 프로브 팁 형태로 패터닝된 복수의 금속막을 이용하여 형성된 도금막; 및 도금막의 양 단부를 제외한 전면에 상기 프로브 팁 상호간의 전기적 절연을 위하여 형성된 절연막을 포함한다.프로브카드, 프로브 팁, 절연막, 코팅
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 1/06755(2013.01) G01R 1/06755(2013.01) G01R 1/06755(2013.01)
출원번호/일자 1020060077991 (2006.08.18)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0783326-0000 (2007.12.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.18)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조진우 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 신진국 대한민국 서울특별시 강남구
3 이철승 대한민국 경기 수원시 장안구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0587007-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.18 수리 (Accepted) 9-1-2007-0031442-81
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0514569-14
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프로브 팁 형태로 패터닝된 복수의 금속막을 이용하여 형성된 도금막; 및도금막의 양 단부를 제외한 전면에 상기 프로브 팁 상호간의 전기적 절연을 위하여 형성된 절연막을 포함하는 절연성 프로브 팁
2 2
제1항에 있어서, 상기 고강도 도금막의 소재는 Ni, Ni-W, NiFe, Ni-Co 및 Ni-Mn 중 어느 하나인 절연성 프로브 팁
3 3
금속막 상부에 포토레지스트를 패터닝하는 단계;상기 금속막에 고강도 도금막을 형성하는 단계;상기 고강도 도금막을 기판에서 분리하는 단계; 및상기 고강도 도금막 표면에 절연막을 증착하는 단계를 포함하는 절연성 프로브 팁 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 절연막의 양 단부를 제거하는 단계를 더 포함하는 절연성 프로브 팁 제조방법
5 5
제4항에 있어서,상기 절연막의 증착은 PECVD, DLC 플라즈마 증착법, 상압플라즈마 증착법, 패릴렌 플라즈마 코팅법 중 어느 하나를 이용하는 절연성 프로브 팁 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.