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측정대상체에 광을 조사하여, 상기 측정대상체를 가진시키는 거동유도부;상기 측정대상체의 가진 시, 상기 측정대상체 표면의 미세거동 형상정보를 포함하는 광간섭신호를 생성하여 광간섭 영상으로 획득하는 거동형상 측정부; 및상기 광간섭영상에서 상기 측정대상체 표면의 미세거동 형상정보를 추출하고, 상기 미세거동 형상정보를 이용하여 상기 측정대상체 내부의 이상 유무를 검사하는 제어부를 포함하는 원격 검사 시스템
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제1항에 있어서,상기 거동 유도부는,펄스 광을 조사하는 광원; 및상기 광원과 상기 측정대상체 간의 광 경로 상에 배치되고, 상기 측정대상체 표면이 특정 패턴으로 가진될 수 있도록 상기 펄스 광을 선택적으로 통과시키는 형상광 생성장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제1항에 있어서,상기 거동형상 측정부는,상기 측정대상체 표면의 면내 방향으로의 광간섭 신호, 면외 방향으로의 광간섭 신호 및 기울기 성분의 광간섭 신호 중 적어도 하나의 광간섭 신호를 생성하여 광간섭 영상으로 획득하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제3항에 있어서,상기 거동형상 측정부는,레이저 빔을 조사하는 레이저 조사장치;상기 레이저 빔을 제1빔과 제2빔으로 분할하여, 상기 측정대상체 표면의 면내 방향으로의 광간섭 신호, 면외 방향으로의 광간섭 신호 및 기울기 성분의 광간섭 신호 중 적어도 하나의 광간섭 신호를 생성하는 광학계; 및상기 적어도 하나의 광간섭 신호를 광간섭영상으로 획득하는 극초단 영상 획득 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제4항에 있어서,상기 광학계는,상기 면내 방향으로의 광간섭 신호를 생성시, 상기 제1빔과 상기 제2빔을 상기 측정대상체에 각각 조사하여 상기 측정대상체에서 반사된 광간섭 신호를 상기 극초단 영상 획득 카메라에 입사시키도록 구성되고,상기 면외 방향으로의 광간섭 신호를 생성 시, 상기 제1빔을 상기 측정대상체에 조사하고, 상기 측정대상체에서 반사된 신호를 상기 제2빔과 함께 상기 극초단 영상 획득 카메라에 입사시키도록 구성되며,상기 기울기 성분의 광간섭 신호를 생성시, 상기 제1빔을 상기 측정대상체에 조사하고, 상기 측정대상체에서 반사된 신호의 어느 일부를 소정 각도로 반사시킨 후 다른 일부와 함께 상기 극초단 영상 획득 카메라에 입사시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제5항에 있어서,상기 광학계는,상기 기울기 성분의 광간섭 신호를 생성시,상기 측정대상체에서 반사된 신호의 어느 일부를 소정 각도로 반사시키는 거울; 및상기 제2빔을 차단하는 광가리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제4항에 있어서,상기 극초단 영상 획득 카메라는,상기 측정대상체 표면의 미세거동 형상정보를 확인 가능하도록, 1피코초 이상 1 마이크로초 이하의 노출시간으로 상기 광간섭 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제4항에 있어서,상기 거동 유도부에 의하여 광이 조사된 후 소정 지연시간 별로 상기 거동형상 측정부가 상기 광간섭 영상을 획득하도록, 소정 지연시간 별로 트리거 신호를 상기 극초단 영상획득 카메라에 전송하는 시간지연장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제8항에 있어서,상기 제어부는,상기 거동형상 측정부가 획득한 지연시간별 광간섭 영상들을 신호처리하여, 상기 측정대상체 표면의 미세거동 형상정보를 나타내는 시간 영역에서의 영상들을 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제9항에 있어서,상기 제어부는,지연시간별로 얻어진 시간 영역에서의 영상들에 대하여 상대적인 차이값을 나타내는 차분 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제9항에 있어서,상기 제어부는,생성된 상기 시간 영역에서의 영상들 각각에 대해 주파수 변환을 수행하여 주파수 영역에서의 영상들을 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제9항에 있어서,상기 제어부는,상기 거동형상 측정부가 획득한 지연시간별 광간섭 영상들의 각 픽셀 위치별로 지연시간별 시간 영역에서의 픽셀 강도값을 추출하여 시간 영역 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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제12항에 있어서,상기 제어부는,생성된 상기 시간 영역 신호를 주파수 변환된 신호로 변환하고, 픽셀위치 별로 얻어지는 주파수 변환된 신호들을 조합하여 주파수 영역에서의 주파수별 영상들을 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 검사 시스템
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