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Ti／Al6061스퍼터링타겟조립체접합방법및접합장치

  • 기술번호 : KST2015148552
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ti/Al6061 스퍼터링 타겟 조립체 접합방법을 개시한다.본 발명은 Ti 스퍼터링 타겟과 Al6061 냉각기판을 준비하는 단계와, 상기 Ti 타겟과 Al6061 냉각기판 사이에 상기 Al6061 냉각기판의 용융점보다 낮은 용융점을 갖는 용가재를 삽입하는 단계와, 상기 Ti 스퍼터링 타겟/용가재/Al6061 냉각기판을 접합온도 550℃∼570℃, 접합시간 60분∼180분, 10-4torr이하의 진공분위기에서 접합하는 단계를 포함한다.본 발명에 따르면 저융점 용가재를 이용함으로써 Al6061합금의 고상선 온도(582℃)보다 낮은 저온에서 Ti 스퍼터링 타겟과 Al6061 냉각기판의 접합공정을 실현할 수 있으며, 저가 접합장비로 저비용의 Ti 스퍼터링 타겟 조립체를 제조할 수 있는 진공 브래이징 공정을 적용할 수 있는 효과를 가져올 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC H01J 37/3491(2013.01) H01J 37/3491(2013.01)
출원번호/일자 1019980044317 (1998.10.22)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0329831-0000 (2002.03.11)
공개번호/일자 10-2000-0026672 (2000.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20020509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.10.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고명완 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 신승용 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.10.22 수리 (Accepted) 1-1-1998-0384361-82
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.10.22 수리 (Accepted) 1-1-1998-0355297-88
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.10.22 수리 (Accepted) 1-1-1998-0355296-32
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005793-30
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2000-0078617-40
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0227246-65
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2000-5342184-34
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2000-5379305-28
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.01.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-5006063-61
10 의견서
Written Opinion		 2001.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2001-5006062-15
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0122981-55
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2001.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2001-5201326-48
13 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2001.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2001-5229416-04
14 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.09.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-5259311-56
15 의견서
Written Opinion		 2001.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2001-5259309-64
16 등록결정서
Decision to grant		 2001.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0346899-06
17 FD제출서
FD Submission		 2002.03.12 수리 (Accepted) 2-1-2002-5047781-43
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
25 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
26 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
27 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
28 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

티타늄(Ti) 타겟을 가공과 취급이 용이한 고강도 Al6061합금으로 이루어진 냉각기판에 접합하기 위한 Ti/Al6061 스퍼터링 타겟 조립체 접합방법에 있어서,

Ti 스퍼터링 타겟과 Al6061 냉각기판을 준비하는 단계와,

상기 Ti 타겟과 Al6061 냉각기판 사이에 상기 Al6061 냉각기판의 용융점보다 낮은 용융점을 갖는 Cu를 17

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 저융점 용가재는 폭 40mm, 두께 200㎛로 이루어지는 호일 또는 분말로 형성되는 것을 특징으로 하는 Ti/Al6061 스퍼터링 타겟 조립체 접합방법

3 3

제 2 항에 있어서,

상기 호일로 형성되는 저융점 용가재는 동으로 된 트윈 롤(twin roll) 사이에 노즐을 통해 자유 낙하하는 용탕을 공급하여 직접 압연하여 제조하는 것을 특징으로 하는 Ti/Al6061 스퍼터링 타겟 조립체 접합방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.