전리체 증착장비에 있어서,

증착조(45) 외부의 구동 손잡이(41)를 사용하여 회전되고, 증착조(45) 상단에 양끝을 나사로 조여 밀착시키며, 다수의 기판(43)을 사용할 수 있도록 여러 개의 구멍이 뚫려 있고 기판(43)과 닿는 부분은 기판(43) 모양대로 일정 깊이를 갖는 홈을 내어 기판(43)을 고정될 수 있도록 한 기판 지지대(44);

상기 증착조 내부의 기판 지지대(44) 바로 밑에 장착되고, 중심 부분에 구동축과 증착조 뚜껑과의 장착 및 탈착을 위한 나사구멍(11)이 형성되고, 증착시킬 기판을 노출시켜 원하는 물질을 증착시키기 위한 증착용 구멍(12)이 형성되어 구동축과 결합한 구동장치(42)에 의해 회전하는 가리개(10);

두 개 이상의 음극체(46)를 하부 칸막이(23)를 사용하여 동작하지 않는 음극체(46)의 표적표면이 오염되는 것을 방지하도록 나누어 격리시키고, 상부 덮개(22)에 표적 직경보다 약간 작은 크기의 직경을 갖는 구멍(21)이 표적표면과 수직선상에 뚫려 있는 나누개(20);

그리고 음극체(46)가 두 개 이상 장착된 경우, 전리체 발생시 한 음극체의 표적표면이 다른 음극체의 표적표면에서 발생한 전리체에 의해 오염되는 것을 방지하고, 한꺼번에 다수의 기판을 사용할 수 있으며 한 기판 위에 다층의 막을 증착할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 다원계 증착을 위한 표적표면 오염 방지용 나누개 및 기판 오염 방지용 가리개를 가진 증착조